伯东公司德国普发Pfeiffer分子泵
Pfeiffer Hipace30普发涡轮分子泵
德国普发Pfeiffer 多功能 氦质谱检漏仪ASM 340
德国普发分子泵 Hipace10-800
德国普发分子泵 SplitFlow

油式罗茨泵组 CombiLine™ RD 系列
上海伯东德国 Pfeiffer 油式罗茨泵组 CombiLine™ RD 系列, 将 HiLobe 罗茨泵与 DuoLine 双级旋片泵相结合, 抽速 700 至 3650 m³/h, 极限真空 10-4 mbar, 可用于抽吸惰性气体. 适用于冶金, 预载真空, 氦气泄漏检测, 电子束焊接等行业.
Pfeiffer 油式罗茨泵组 CombiLine™ RD 特性:
提供抽速 700 至 3650 m3/h 的快速抽空能力
DuoLine 双级旋片泵独特磁耦与气密密封的 HiLobe 罗茨泵相结合构成了永/久气密的泵站, 可以用于抽吸惰性气体等
智能接口技术支持进程监控, 工业 4.0
先进的电机技术 IE4 和空气冷却装置最/高 +40°C
每个泵站可选配控制柜, 控制装置以及 ProfiNet &, EtherCat 接口
Pfeiffer 油式罗茨泵组 CombiLine™ RD 系列技术参数
型号 | 进气口 | 抽速 m³/h | 功耗 kw | 重量 kg | 极限真空 mbar |
RS 1000 R2D | DN 100 ISO-F / PN 16 | 994 | 5.5 | 550 | < 9X10-4 |
RD 1002 | DN 100 ISO-F / PN 16 | 975 | 6.5 | 500 | < 5X10-4 |
RD 1604 | DN 100 ISO-F / PN 16 | 1644 | 11 | 650 | < 9X10-4 |
RD 2054 | DN 160 ISO-F / PN 16 | 2037 | 11 | 790 | < 9X10-4 |
若您需要进一步的了解详细产品信息或讨论 , 请参考以下联络方式 :
上海伯东 : 罗先生 台湾伯东 : 王小姐
www.hakuto-china.cn www.hakuto-vacuum.com.tw
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VIM-2 优势: 10 mbar(暖容器)~ 5×10⁻⁷ mbar(低温容器) 锂电池供电(>3 小时续航),蓝牙/Win 端远程操作 无电子穿透真空,抗腐蚀(1.4404/1.4034 不锈钢) <1% 年漂移率,无需校准 1s 响应(快模式),内置 1023 组数据记录 1 个读数头可匹配多个传感器,降低部署成本
超高精度:0.1 mbar至1×10⁻⁶ mbar范围内达读数±1% 100%线性压力读数(与气体种类无关) 长期稳定性:年漂移率<1.5% 不锈钢传感器抗腐蚀与沉积 安全洁净测量:无污染/无热辐射/无电离效应
润滑油
伯东公司日本原装设计制造离子蚀刻机 IBE. 提供微米级刻蚀, 均匀性: ≤±5%, 满足所有材料的刻蚀, 即使对磁性材料, 黄金 Au, 铂 Pt, 合金等金属及复合半导体材料, 这些难刻蚀的材料也能提供蚀刻. 可用于反应离子刻蚀 RIE 不能很好刻蚀的材料
伯东公司日本原装进口小型离子蚀刻机, 适用于科研院所, 实验室研究, 干式制程的微细加工装置, 特别适用于磁性材料, 金, 铂及各种合金的铣削加工.
伯东公司日本原装进口小型离子蚀刻机, 适用于科研院所, 实验室研究, 干式制程的微细加工装置, 特别适用于磁性材料, 金, 铂及各种合金的铣削加工.
上海伯东日本原装进口适合小规模量产使用和实验室研究的离子蚀刻机, 一般通氩气 Ar, 内部使用美国 KRI 考夫曼离子源 KDC 40 产生轰击离子; 终点检出器采用 Pfeiffer 残余质谱监测当前气体成分, 判断刻蚀情况.
Aston™ 特性 实时过程控制的通用工具, 耐腐蚀性气体, 抗冷凝 半导体制造的分子分析原位平台, 提供实时, 可操作的数据 采用等离子体电离源, 无灯丝, 更耐用 可与大批量生产工具完全集成 Aston™ 作为一个强大的平台, 可以取代多种传统工具, 提供前所未有的控制水平, 包括光刻, 电介质和导电蚀刻及沉积, 腔室清洁, 腔室匹配和消解.