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电子束光刻胶 AR-PC 5090.02, 5091.02(导电胶)
- 品牌:德国Allresist
- 型号: AR-PC5090.02,5091.02()
- 产地:德国
- 供应商报价: 面议
- 深圳市科时达电子科技有限公司 更新时间:2024-04-26 06:25:51
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企业性质一般经销商
入驻年限第3年
营业执照已审核
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联系方式:林建军0755-29852340
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- 详细介绍
特点:
• 用于消除电子束曝光、SEM成像、FIB等工艺中的荷电效应
• 通过旋涂的方式涂胶,操作简单
• 涂胶厚度:40nm @ 4000rpm
• 电子束曝光后可溶于水,非常容易去除,且不损伤衬底材料
• 对紫外光、电子束不敏感,无需黄光室
5090.02,适于PMMA、CSAR 62、 HSQ等;
5091.02,适于酚醛树脂基电子束光刻胶,如AR-N 7520
- 产品优势
- 特点:• 用于消除电子束曝光、SEM成像、FIB等工艺中的荷电效应• 通过旋涂的方式涂胶,操作简单• 涂胶厚度:40nm @ 4000rpm• 电子束曝光后可溶于水,非常容易去除,且不损伤衬底材料• 对紫外光、电子束不敏感,无需黄光室 5090.02,适于PMMA、CSAR 62、 HSQ等。