原位AFM in SEM压痕仪、AFM

LiteScope™扫描探针显微镜（SPM），便于集成到各种扫描电子显微镜（SEM）中。互补SPM和SEM技术的结合（CPEM）可以进行复杂的样品分析，包括表面形貌、机械性能、电性能、化学成分、磁性等的表征。 还能与其他扫描电镜附件相结合，如聚焦离子束（FIB）或气体注入系统(GIS ）用于纳米/微结构的制备和表面改性可以对装配结构的快速和简单的3D检查。 同时，SPM和SEM测量能够在同一地点、同一时间、同一协调系统进行。

LiteScope™采用关联探针和电子显微镜技术（CPEM），该技术利用两种不同的技术对同一物体城乡的方法。CPEM能够同时对样品表面的同一个区域进行SEM和AFM表征。

LiteScope™通常用于高真空环境，但也可根据要求适用于超高真空环境。

工作温度：+15°C至+25°C

标准工作压力：10-5Pa~105Pa

外形尺寸：129 mm x 90 mm x 45-55 mm

扫描面积：22 mm x 11 mm x 8 mm

扫描范围：100 um x 100 um x 100 um

分辨率： 0.2nm

1D/2D材料

GaAs纳米线，在SEM中进行针尖定位，选择合适的纳米线进行相关分析。

生命科学

     细胞相关测试、分析及3D图，生物传感用石墨烯包裹金纳米粒子杂化SEM/AFM表征 。

     3D形貌图和粗糙度/高度/深度图

      AFM/FIB/SEM

     用SPM/FIB/SEM-分层法分析集成电路的故障

金纳米粒子与石墨烯掩膜的结合是一种新的制备适用于表面增强拉曼光谱（SER）的活性基底的方法。可使用CPEM轻松确定纳米颗粒在石墨烯膜下的分布以及表面形貌。虽然LiteScope™SPM（AFM）可以对纳米颗粒上的石墨烯层进行表面成像，但SEM可以对石墨烯层下的纳米颗粒进行成像。

含HFO2颗粒的W-Cr固溶体退货后的降解

利用CPEM可以快速、准确地识别扫描电镜图像中的形貌和材料对比度，很容易区分HF颗粒与孔隙。用CPEM技术研究了样品表面的腐蚀速率。

胶原支架上间充质干细胞的研究

利用CPEM，可以同时用电子束和探针扫描同一个细胞并获得图像，以及细胞与基质的相互作用，这意味着细胞在支架后粘附力扩展和环境友好。

材料科学

金属应力和裂纹

材料形貌对比 

其他应用