Bruker ContourSP 三维光学轮廓仪

具有计量功能的 ContourSP 系统采用全新耐振动设计和获得的Wyko垂直扫描干涉（VSI）成像技术，可以执行极其精确的三维关键尺寸（CD）测量并达到纳米级分辨率。这种能力与广泛的自动化相结合，使得 ContourSP 能够同时作为强大的表面形貌测量仪和易于使用的缺陷检测工具执行多项任务。

（ContourSP 可测量掩模、焊盘和掩模内基板的尺寸和高度）

简化操作和分析

ContourSP 采用直观生产界面，包含了多种基准点的简单设置，以实现自动对位。除了合格（pass）/失败（fail）信息外，用户还可以选择详细的参数结果，显示在摘要屏幕上。Vision64 软件为工程师、技术人员和操作人员提供全面的访问控制，具有方便的坐标文件导入功能，确保机台间程序移植和快速文件创建。

ContourSP 包含了多种基准点的简单设置，以实现自动对位。

可选配软件确保快速、准确地定位在特征图案位置。

ContourSP 龙门架设计提供了 600x600mm 测量区域。