电镜腔等离子清洁仪（远程等离子清洁仪）
美国PIE出品的EM-KLEEN型远程等离子清洁仪，广泛用于SEM扫描电镜,FIB聚焦离子束双束电镜,TEM透射电镜,XPS_X射线光电子能谱分析仪,ALD原子层沉积系统,CD-SEM, EBR, EBI, EUVL和其它高真空系统，可同时清洁真空腔室和样品！
污染物对电子显微镜SEM/TEM和其它高真空系统产生的影响
润滑剂、真空脂、泵油样品中的高分子聚合物，或未经处理的空气都会把碳氢污染物引到真空系统中。低蒸汽压下高分子重污染物会凝聚在样品表面和腔室壁上，而使用普通气体吹扫方法很难把碳氢污染物清除。
电子和高能光子(EUV, X-ray)能够分解存在于真空系统中或样品上的碳氢污染物。碳氢化合物的分解产物沉积在被观测的样品表面或电子光学部件上。这种碳氢污染沉积会降低EUV的镜面反射率，降低SEM图像对比度和分辨率，造成错误的表面分析结果，沉积在光阑或其它电子组件的不导电碳氢污染物甚至会造成电子束位置或聚焦缓慢漂移。在ALD系统中，样品表面的碳氢污染物还会降低薄膜的界面匹配质量。
远程等离子清洁的原理
远程等离子源需安装在要被清洁的真空腔室上，控制器向远程离子源提供射频能量。射频电磁场能激发等离子体，分解输入气体而产生氧或氢的活性基，活性基会扩散到下游的真空腔室，并与其中的污染物发生化学反应，反应产物能轻易地被抽走。远程等离子清洗机可同时清洁真空系统和样品。
技术特点：
快速清洁被污染的SEM样品。2-60秒氢等离子体清洁ALD样品。不需减速或关闭涡轮分子泵
低等离子偏压设计减少离子溅射和颗粒生成。结合自有专用多级气体过滤技术，SEMI-KLEEN能够满足用户z苛刻的颗粒污染清除要求
可选蓝宝石管腔体和耐腐蚀性气体的流量控制器，以便支持CF4, NF3, NH3, HF, H2S等应用
拥有等离子强度传感器可实时监测等离子状态，用户对等离子状态一目了然
基于压力传感回馈控制的自动电子流量控制器，无需手动调节针阀
直观的触摸屏操作，可定义60条清洗程序方案
拥有智能安全操作模式和专家控制模式；SmartScheduleTM定时装置，通过检测样品装载次数或时间间隔来定时清洁系统
低电磁干扰设计，安静的待机模式
报价：面议
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报价：￥500000
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真实环境还原：在扫描过程中施加温度变化，有助于观察材料结构随温度变化的实时响应。 高精度控制：温控精度高 (±1 °C)，温度变化速度也可定制。 兼容CT仪器：设备尺寸与CT仪器机柜相匹配，支持 360° 旋转扫描，控制操作方便 (从柜外控制)。 模块化/可定制：样品架可更换，以适配不同样本规格 (可定制样本区尺寸)。
同步成像与循环测试：在CT扫描时即可进行充放电循环测试，获取内部结构随时间/循环的动态变化信息。 温度+电流耦合：在不同温度 (低温/高温) 下施加电流循环 (最高约30 A)，真实模拟电池在极端/典型工况下的表现。 实时观察内部结构变化：例如研究电解液在不同温度下的移动/分布变化、电极结构的膨胀/变形/开裂等微观失效。已有研究利用该装置观测锂电池在–15 °C/+55 °C等温度进行循环放电过程中电解液的动态移动和结构变化。 模块化/可定制：外壳/样本夹具/电池样本规格可定制，适配不同尺寸或类型的电池。
SEMI-KLEEN等离子清洗仪由美国PIE Scientific LLC公司生产，专为清洗各类电子及离子显微镜、深紫外光刻机等真空仪器设计。该设备采用低压清洗技术和远程RF等离子源，具备即时等离子起辉、自动气体流量控制、实时等离子强度监测等功能，确保高效、均匀清洗并保护电子枪和分子泵，满足半导体行业严格的颗粒污染标准。
加拿大KA Imaging公司推出了一款专为无损检测设计的REVEAL R 35C便携式三能平板X射线探测装置。这款探测器坚固耐用，能在各种苛刻环境下提供可靠的图像质量。凭借其独特的SpectralDR®技术，该设备能够通过单次曝光生成三种不同能量的图像，有效避免了运动伪影问题，并提升了材料分离的能力。此外，该探测器符合ASTM F792222-17标准，确保了高精度和安全性，适用于多种应用场景。
加拿大KA Imaging公司的Reveal 35C便携双能平板X射线探测装置专为无损检测设计，具备便携、无线连接等特点。其采用单次曝光即可生成三种图像（传统DR、低密度和高密度），利用SpectralDR®技术实现高精度材料分离，避免运动伪影。该设备符合ASTM F792222-17标准，并提供便携套装便于野外作业。
KA Imaging推出的inCiTe 3D台式相衬MicroCT_2μm是全球首款采用独家高空间分辨率非晶硒探测器技术的三维X射线显微镜，特别适合科研和工业无损检测。该系统结合了高检测效率与高空间分辨率，支持快速相衬和传统MicroCT成像，尤其擅长于低密度材料的成像。其应用广泛，涵盖材料微观结构分析、逆向工程、无损检测及生产过程监控等领域。
KA Imaging的inCiTe台式相衬MicroCT_5μm X射线扫描仪，采用独家BrillianSe探测器技术，提供高空间分辨率和检测效率，适用于科研和工业无损检测。该设备特别擅长低密度材料成像，具备快速扫描、友好用户界面及简化工作流程等特点，广泛应用于农业、增材制造、地质、电子产品、临床前成像等领域。其基于相位衬度成像技术显著提升了对弱吸收材料的成像效果。
BrillianSe非晶硒高分辨X射线探测器由加拿大KA Imaging公司推出，结合了a-Se/CMOS技术，提供高空间分辨率与高量子效率。该探测器无需将X射线光子转换为可见光，从而提高了成像质量。其应用领域广泛，包括低密度材料成像、同步加速器、微纳CT等系统，尤其擅长在低通量和高能量条件下进行高效成像。
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