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椭偏仪 ME-series 穆勒矩阵椭偏仪
- 品牌：纳腾
- 型号： ME-series
- 产地：上海 徐汇区
- 供应商报价：面议
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上海纳腾仪器有限公司
更新时间：2025-03-17 17:30:12 -
销售范围售全国
入驻年限第10年
营业执照
- 同类产品椭偏仪(1件)
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产品特点
- 基于双旋转补偿器调制，实现全穆勒矩阵16个元素快速测量
用于各向同性/各向异性薄膜膜厚、光学常数和纳米结构的表征 详细介绍
ME-L穆勒矩阵椭偏仪
• 全自动变角、对焦技术，一键快速测量
• 向导交互式人机果面，便捷的软件操作体验
• 丰富的材料数据库和算法模型库，强大数据分析能力
技术规格
型号
ME-L
应用
科研级／企业级
基本功能
Psi/Delta 、 R/T 、穆勒矩阵等光谱
380-1000nm（支持扩展至193-2500nm)
分析光谱
单次测量时间
≤15s
重复性测量精度
0.005nm
绝对精度
（直通测量空气）
椭偏参数：4=45±0.05°△=0±0.1°
穆勒矩阵：对角元素 m=1±0.005 非对角元素 m=0±0.005
折射率重复性精度
0.0005
光斑大小
大光斑：2-4mm
微光斑：200μm/100um
超微光斑： ≤50um（取决于波长）
重复性精度指标针对100nmSi02/Si标准样件30次重复性测量；
仪器具体技术参数需与实际功能模块、配件有关，表中数据仅供参考。
可选配置： 波段选择
V:380-1000nm
VN：380-1650nm
UV：245-1000nm
UN：210-1650nm
UV+ ：210-1000nm
DN：193-1650nm
DUV：193-1000nm
UN+ ：210-2500nm
DN+：193-2500nm
角度选择：
自动：45 ° -90°
手动：45 ° -90°（5°步进）
固定：65 °
其他选择
Mapping选择：100*100mm/200*200mm
温控台：190-550℃/RT-1000℃
沪公网安备 31011502008050号