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科特莱思科热阻蒸发镀膜系统Nano36
- 品牌：(美国) 科特莱思科
- 型号： Nano36
- 产地：美国
- 供应商报价： 面议
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冠乾科技（上海）有限公司
更新时间：2024-04-23 11:33:21 -
企业性质生产商
入驻年限第3年
营业执照已审核
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联系方式：乔琳021-20962769
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- 详细介绍
LOAD LOCK Chamber (option)
LOAD LOCK预真空进样室（可选）
Chamber with front open door
前开门蒸发腔体
Cryopump and dry pump
冷凝泵和干泵
Multiple thermal evaporation sources or OLED sources
多个热阻蒸发源或OLED低温蒸发源
Max. 6” substrate
6”基片
Substrate rotation
基片旋转
Substrate bias (option)
基片偏压（可选）
Ion source for substrate cleaning (option)
离子源清洗基片（可选）
Substrate heating to 1000C (option)
基片加热1000度(可选)
Crystal rate monitor and film thickness control
晶振沉积速率及膜厚控制
Manual or automatic system control
系统手动或自动控制
For deposition of metal, semiconductor and insulation materials
可沉积金属、半导体和绝缘材料
For deposition of multi-layer or alloy film
可沉积多层膜及合金薄膜
注：该仪器未取得中华人民共和国医器械注册证，不可用于临床诊断或治等相关用途
