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2026 飞纳电镜选型指南 —— 智能显微新时代,让微观世界触手可及!

来源:复纳科学仪器(上海)有限公司 更新时间:2026-02-26 10:47:24 阅读量:99
导读:从自动化扫描电镜到原位 AFM-SEM 联用方案,构建更高效率、更高精度、更智能化的微观分析新标准。

2026飞纳电镜选型

—— Free to Achieve ——



飞纳(Phenom)源自 FEI,诞生于荷兰“发明之城”埃因霍温,以“任何人都可用的扫描电镜”理念享誉全 球,现已发展成为台式扫描电镜领域的领先品牌。始终致力于让扫描电镜测试更简单、更高效,是飞纳不变的初心。


2026 年,飞纳电镜迎来第七代产品革新,为中国 2500+ 用户带来更智能、更高效、更可靠的显微分析体验。覆盖数百所高校、中科院等科研院所、政府机构,以及新能源、生命科学等多个工业领域。其应用研究方向广泛,涵盖金属与合金、电池、地质与考古、高分子材料、静电纺丝、陶瓷与复合材料、生物医学、微生物等多个前沿与交叉学科。

同时,飞纳电镜支持拓展 EBL 功能,自主编程功能,原位拉伸/压缩功能,原位加热/冷冻功能,样品真空转移等,亦可进行定制化。


样简单 无需喷金即可观察不导电样品

  01

装样

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非 Phenom XL 系列

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Phenom XL 系列

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 非 Phenom XL 系列

抽真空 15 秒

02  

载样

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Phenom XL 系列

抽真空 20 秒

  03

成像仅三步即可获得

高质量图像


图片

从光镜导航快速切换至

 SEM 图像

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Part 01

台式场发射扫描电镜

图片


飞纳台式场发射扫描电镜采用完全防震设计,在紧凑的台式机身上实现接近大型场发射电镜的成像性能。其卓越的低电压成像能力有效降低电子束对样品的损伤与穿透,最大程度还原样品的真实表面形貌。


在延续电镜与能谱一体化设计的基础上,系统进一步升级快速面扫描功能,可即时呈现元素分布;配合实时能谱分析,实现成分信息的同步获取,显著提升检测效率与分析可靠性。



产品特点

  • 肖特基场发射电子枪

  • 分辨率最高的台式电镜

  • 可选 STEM 模式:BF、DF、HAADF 像

  • 卓越的低电压成像

  • 电镜能谱一体化设计

  • 不受震动、磁场等环境因素干扰


型号推荐(点击图片即可查看详细信息)

图片

Pharos STEM 扫描透射电镜

  • 分辨率:优于 1nm

  • 成像模式:BF、DF、HAADF

图片

Pharos G2 台式场发射扫描电镜

  • 分辨率:优于 1.5 nm

  • 放大倍数:2,000,000 X

图片

Nano G2 台式场发射扫描电镜

  • 分辨率:优于 2.5 nm

  • 放大倍数:1,000,000 X

左右滑动查看更多


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Part 02

CeB6 灯丝扫描电镜


全新一代 CeB? 晶体灯丝扫描电镜实现关键性能突破,首次将单根灯丝寿命提升至 3000 小时,使灯丝更换周期由平均 3 年延长至约 5 年,显著降低维护频率与使用成本。


飞纳电镜采用台式一体化设计,具备完全防震能力,对安装环境要求低。操作流程高度简化,适配不同经验层级的用户,仅需约 30 分钟培训即可独立上手。同时,系统支持多种特色功能扩展,满足科研与工业应用的多样化需求。



产品特点

  • 稳定可靠:80  年顶尖技术传承

  • 独 家采用 CeB6 晶体灯丝:3000h 超长使用寿命,平均 5 年换灯丝

  • 自动化与 AI 智能扫描电镜

  • 内置专利减震系统,可直接放置于生产车间、高楼层 QC 实验室等

  • 原厂集成能谱 EDS:从电子光学设置、图像采集到能谱分析和面分布,都在同一个统一、直观的界面中完成

  • 卓越的低电压成像功能:对于不导电、导电性差、以及电子束敏感样品,不喷金,仍具有卓越的成像能力

Part 03

AI 智能化扫描电镜


Phenom AI 智能扫描电镜,支持全流程自动成像和自由编程(PPI)功能(适配所有飞纳型号),为微观世界的探索带来了前所未有的自由度和无限可能。



产品特点

  • 机械手自动上样:无需人工,高一致性标准操作

  • 全流程自动成像与参数调节

  • 数据数字化回传

  • 自由编程:打造私人订制工作流

  • 高稳定性环境适应能力

  • 大幅提高工作效率

柳延辉团队创新成果:非晶合金研发迈向材料自动化智能化时代




Part 04

ParticleX 全自动扫描电镜


ParticleX 基于扫描电镜与能谱分析技术,融合自动化控制系统与高性能数据库平台,实现杂质颗粒的全自动识别、成分分析及分类统计。系统可在无人干预条件下完成从检测到数据输出的完整流程,为研发与生产过程提供快速、准确且可追溯的定量数据支持,显著提升分析效率与质量管控水平。



Part 05

刑侦专用扫描电镜


革新固态电池失效分析技术:AFM-SEM 原子力扫描电镜一体机助力突破瓶颈




3

icspi 原子力显微镜

icspi 是一家专注于扫描探针显微技术的加拿大高科技公司,在原子力显微镜系统设计、探针控制与纳米级表征技术方面拥有深厚的技术积累。其 AFM 产品以高稳定性、高重复性及灵活的模块化架构著称,广泛应用于半导体器件表征、薄膜与纳米材料研究、精密表面形貌分析等领域。


型号推荐


AFM 在半导体器件和微加工中的应用

02

复纳科技与加拿大 ICSPI 原子力显微镜达成战略合作



Part 07

SEM 样品制备-离子研磨仪


SEMPREP SMART 配备了高能量和可选的低能量氩离子枪。用于扫描电子显微镜(SEM)和电子背散射衍射(EBSD)样品的最终加工和清洁。离子加工可以改进和清洁机械抛光的 SEM 样品,并为 EBSD 分析制备无损表面。该设备还适用于快速截面加工。为您制备高精度和高质量的样品,例如在半导体测试或锂离子电池隔膜的截面检查中均能实现出色的效果。



产品特点

  • 氩离子束无应力处理样品

  • 定位精准:可实现 ±1 微米

  • 离子枪能量最高:0-16kV

  • 超大样品腔室:可容纳直径 50mm 样品

  • 独 家制冷设计:液氮 LN2 制冷

  • 可选配真空转移功能


应用案例|电子器件失效分析


在对焊接部位的焊接情况进行分析时,需要观测该部位剖面的合金相分布情况,此时需要用到截面切削的制样设备--离子研磨仪,进行无应力样品切削制备后,使用飞纳电镜进一步分析焊接情况。


1,000X

(Mix模式,离子研磨后)

3,000X

(Mix 模式,离子研磨后)


进一步结合 EDS 能谱面扫分析可知:银-锡膏和铜面结合,界面有铜-锡为主合金化晶粒生长,铜引脚有镀镍层,并在内部发现有大量的铁富集相夹杂,近铜界面发现有气孔存在。


焊锡截面 EDS 能谱面扫结果


使用 SEMPREP SMART 处理后的 SEM 图:

氧化铝陶瓷材料

半导体失效分析

锂电池正极极片

左右滑动查看更多


欢迎您随时联系我们获取更多产品详情和应用案例:


咨询热线:400 857 8882



复纳科技成立于 2012 年,专注引进欧美先进、稳定的科学分析仪器与制造设备,助力中国科研创新与工业升级。公司已服务 2,500+ 家中国用户,并与 10 余家国际知名制造商建立了长期稳定的合作关系,共同为中国用户提供高品质产品与专业服务。目前主要提供产品如下:荷兰 Phenom 台式扫描电镜、匈牙利 Technoorg Linda 离子研磨仪、比利时 NEOSCAN 高分辨台式显微 CT、Nenovision AFM-SEM 联用,ICSPI 原子力显微镜;荷兰 Phenom ParticleX 清洁度检测系统;Forge Nano 粉末原子层沉积系统、荷兰 VSParticle 纳米气溶胶沉积系统;荷兰 DENSsolutions 原位透射样品杆、匈牙利 Technoorg Linda TEM 氩离子精修仪;Phenom Pharos STEM 生物扫描透射电镜以及相关产品的付费测试服务。目前在上海(总部)、北京、广州、成都、苏州均有 DEMO 体验中心,售后服务遍布全国。


复纳科学仪器(上海)有限公司

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上海(总部):闵行区虹桥丽宝广场T5办公楼705室

苏州办事处:相城区长三角国际研发社区10号A座108室

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广州办事处:黄埔区广州国际生物岛C栋601-602单元

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复纳科技产品

飞纳台式扫描电镜

SEM 样品制备 - 离子研磨仪

AFM-SEM 原子力扫描电镜一体机

icspi 原子力显微镜

台式高分辨显微 CT

DENSsolutions 原位样品杆

TEM 样品制备 - 离子精修仪

ForgeNano ALD 原子层沉积包覆

Atlant 3D 直接原子层打印系统

VSParticle 气溶胶纳米沉积

Fastmicro 可视化颗粒检测

Coredux 半导体专用软管

Pharos STEM 飞纳生物扫描透射电镜


标签:   AFM-SEM
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