良率保卫战：从次泄漏看高纯软管如何成为半导体制造的“保险丝”

​

1 月 19 日上午，韩国忠清北道清州市的 SK 海力士工厂发生一起化学品泄漏事件。作业人员在进行管道相关作业时，接触到从上方管道滴落的液体。

事故发生后，SK 海力士立即启动应急响应，第一时间停机并封控相关区域。当地消防部门随后到场，使用专业吸附材料对泄漏液体进行收集和清理。

经确认，泄漏物质为约 30 升磷酸。涉事人员均佩戴防护装备，未出现人身伤害。泄漏物质后续将通过工厂废水处理系统完成无害化处置。相关政府部门已介入调查事故原因。

CoreDux半导体专用软管

这一事件将一个关键问题推至台前：在等级严苛的洁净室内，被视为“半导体血管”的化学品输送系统，其可靠性如何保障？

每一次意外的停机与调查，都意味着巨大的产能与财务损失。究其根源，许多泄漏风险实则潜伏在管道系统最柔性的环节——连接与传输用的软管。普通的工业软管在面临高纯化学品、持续压力与洁净度（AMC）要求时，其材料析出、渗透、老化脱落等问题，都可能成为污染与安全的致命弱点。

这恰恰凸显了采用半导体专用的高纯软管的必要性。它绝非普通组件，而是保障生产连续性、晶圆良率与运营安全的核心部件。

类似事件背后，往往暴露出生产管理的疏忽，深究其背后原因，更有可能是厂房设计或生产设备结构设计时对供应商的品质把控不到位带来的。半导体工序成百上千，在百级乃至更高洁净等级的无尘间，各种腐蚀性的工艺气体和液体对流体管道提出了极高的挑战，而软管作为其中关键一环，洁净度、质量、耐用性、循环寿命对半导体制程的高良率显得尤其重要。

软管一般用在需要减震、吸收振动、定期移动和避免安装错位以及一些狭小空间内弯曲等场景，但正是因为它的柔韧属性，需要具有防泄漏、耐高温高压、高循环寿命、耐腐蚀等特性；同时，在一些特殊场景，如真空领域或防冷凝、导热/隔热等场景，软管也不可或缺。

CoreDux 脱胎于荷兰 BOA 集团，后者在软管 / 波纹管行业有超过百年的历史和技术积淀。而 CoreDux 作为专注在半导体、航空和高端制造的全新品牌，致力于为客户提供高品牌、高洁净的软管产品。

作为少数具有生产软管管坯的工厂，CoreDux 是多个管阀件品牌的代工厂，产品品质深受这些大厂的青睐；且其产品已被荷兰知名的光刻机公司和美国头部半导体前道制程设备公司和量检测公司批量使用。

CoreDux 生产的软管产品被广泛应用在前道制程如光刻、刻蚀、薄膜沉积、匀胶显影、清洗、量检测等领域，其生产的软管洁净等级最高可达到 ASML grade 1 级别。CoreDux 的产品设计理念是终身不换，其对品质追求近乎苛刻。超亿次的循环寿命和超 4000bar 的压力耐受能力都不是 CoreDux 的上限。

CoreDux 软管产品涵盖金属非编织软管、金属编织软管、PTFE 光滑软管、PTFE 波纹软管、橡胶软管等多种品类。为了应对一些对品质要求较高的客户要求，CoreDux 可以针对客户的需求进行定制，或与客户共同设计开发，来帮客户满足设计要求。