瑞典Mycronic 掩膜计量系统Prexision-MMS

掩膜计量系统

证明您的质量

为了说明产品是符合规范的，您必须证明激光掩膜上的图形能够在制造显示屏时恰当地对齐。为了实现这一点，您需要比光刻机精度更高的测量设备。

主要优势

*更佳的配准 30%

*更好地将掩膜套合到掩膜上  20%

*更短的周转时间30%

· zui新的创新性Prexision平台具备优异的精 准度与可重复性

· 用我们的ZG技术改善配准测量。

· 因为第 一次测量的结果精确无误，这大大给您节省了周转时间。

· 充分发挥我们的Prexision光刻机的潜力。

基于最精确的Prexision平台打造出的Prexision-MMS将对大面积的配准测量带到了全新的高度。现在，您可以证明您的光掩膜质量究竟有多好了！

为充分利用其性能，您的测量系统性能对于精密调校光刻机也是极其重要的，这样您的光掩膜才能以zui高的质量描绘出来。

 Prexision-MMS 提供两个型号。G8 型zui高可处理用于 8 代显示器玻璃尺寸的掩模尺寸。对于 G10 型，zui高可处理 11 代显示器尺寸。

技术指标