在不到一秒的时间内,实现对一个晶片全电子晶片特性的测量。测量参数:少子寿命(全形貌),电阻率(两行扫描)。
迄今为止还没有看到工艺控制、良率和工艺改进的效率允许极快地增加新的生产或工艺,因为来自数千个晶片的统计信息是在非常短的时间内获得的。
适合于测量出料或进料晶片的材料质量,以及在晶片级别内识别结晶问题,例如在光伏行业。适用于扩散工艺的完整性控制、钝化效率和均匀性控制。
MDPinline 光伏测量仪器
一秒内完成正片晶片扫描
MDPinline是为高速自动扫描硅晶片而设计的,它以每片不到一秒的时间记录少子寿命的全部形貌。利用微波检测光电导率定量测量少子寿命。凭借其紧凑的设计,MDPinline可以灵活地集成在传送带上或晶片分选系统中。
MDPinline是生产集成的高速晶片少子寿命自动扫描系统。在一秒钟内完成单晶片形貌测量。
MDPinline是一个用于定量测量少子寿命的紧凑型高速生产集成自动扫描系统。当晶片通过传送装置移动到仪器下面时,一片晶片的形貌测量在一秒钟的时间内进行实时测量。
MDPinline本身不使用机械移动部件,使得它在连续操作下也非常可靠。对于每个单独的晶片,完整形貌的获取提供了新的方法来提高生产成本效益和效率。例如,在不到3小时内获得的10,000个晶片形貌的自动统计评估揭示了晶体生长炉的性能以及材料质量的微小的细节。基于实时质量和均匀性研究,诸如扩散和钝化之类的处理步骤可以在迄今为止不可能达到的性能的时间内逐步增加和优化。在运行生产中,可以立即检测到处理步骤的任何故障。另一方面,晶片销售给用户时,如果每个晶片都表现出优异的性能,则可以实现更高的价格,从而在不到一年的时间内为MDPinline带来回报。
优势
- 产品分类
- 品牌分类
- 光刻机/3D打印机/电子束直写仪
- 镀膜沉积系统
- 离子刻蚀与沉积系统
- 匀胶涂覆系统
- 半导体辅助工艺/光刻胶
- 半导体微纳检测仪
- 实验检测仪器
- 太阳能检测仪
- 紫外线UV光清洗/等离子清洗
- 晶圆贴片/贴膜/UV解胶机/晶圆清洗机
- (英国)NanoMagnetics
- (法国)法国Plassys
- (美国)美国Associated Research
- (日本)日立
- (英国)牛津仪器
- (德国)德国克吕士
- (美国)美国SCIEX
- (美国)美国Denton Vacuum
- (日本)日本SEN
- (美国)美国海马
- (德国)德国iplas
- (美国)美国Jelight
- (美国)美国Sinton Instruments
- (美国)美国Nano-Master
- (美国)美国novascan
- (美国)美国Neocera
- (美国)美国Trion
- (美国)美国UVOCS
- (成都)中科院
- (台北)台湾正恩科技
- (比利时)比利时宝镭泽
- (德国)德国Allresist
- (瑞士)瑞士Sawatec
- (德国)德国Diener
- (美国)美国AZ technology
- (美国)美国劳瑞尔
- (美国)美国Uvitron
- (英国)英国EMS
- (美国)美国MicroChem
- (德国)德国Optosol
- (深圳)深圳一正
- (德国)德国FS Bondtec
- (美国)美国Newport
- (英国)英国MML
- (美国)美国Nisene
- (美国)美国VTI
- (美国)美国FEI
- (美国)美国RKD
- (德国)德国PVA TePla
- (日本)日本理学
- (英国)英国AML
- (美国)美国PI
- (日本)富士
- (日本)日本Advance Riko
- (美国)美国Sonoplot
- (香港)托普斯
- (美国)美国Quantum Design
- (美国)美国泰德派勒
- (丹麦)丹麦NIL TECHNOLOGY
- (日本)日本RIBM
- (美国)美国SCS
- (瑞典)瑞典Obducat
- (德国)德国布鲁克
- (韩国)韩国ATI
- (德国)德国海德堡
- (日本)日本伊领科思
- (美国)赛默飞世尔
- (西班牙)西班牙Mecwins
- (德国)德国纳糯
- (德国)徕卡生物系统
- (美国)美国泰克
- (美国)美国Harrick
- (德国)德国SUSS MicroTec
- (日本)日本基恩士
- (瑞士)瑞士nanosurf
- (德国)德国ParcanNano
- (德国)德国蔡司
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- (美国)美国MMR
- (英国)英国牛津
- (德国)德国Raith
- (日本)日本 Ulvac
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- (英国)英国Durham Magneto Optic
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