磁控溅射仪维护与保养

磁控溅射仪为一种用于物理学领域的分析仪器，于2015年05月25日启用。

磁控溅射为物理气相沉积的一种。金属、半导体、绝缘体等多材料的制备通常会采用一般的溅射法，其的特点为有着较为简单的设备，控制起来不困难，有着较大的镀膜面积以及有着较强的附着力等。在上世纪 70 年代发展起来的磁控溅射法更是使高速、低温、低损伤得以实现。由于高速溅射是在低气压下进行，必须要使气体的离化率得到有效地提高。磁控溅射利用将磁场往靶阴极表面引入，通过磁场约束带电粒子来使得等离子体密度提高进而使得溅射率增加。

磁控溅射仪维护与保养

1、在遭遇抽不上前级真空时，不仅要对前级管道及电磁阀的泄露尽可能排除以外，需要对机械泵是否油不够或油质变劣机械能检查，需要对油标定期查看，及时对新油进行加注或更换。也需要定期检查分子泵。

2、长时间镀膜，对热丝引线、陶瓷管、照明烘烤灯引线或测温热偶陶瓷管进行加热容易被镀膜,表面金属化，甚至起不到绝缘作用，这时应当在大气中暴露，将陶瓷管卸下，在双氧水溶剂的烧杯中放置，使用电炉加热，煮40分钟就可以。

3、在对设备运行一段时间以后，若发生真空度下降的情况，为了使更换胶圈,拧紧螺丝更为方便和及时，应当对各发兰密封口是否有胶圈老化及螺丝松动现象及时地进行检查。

4、如果磁控靶不起辉，一定要对永磁靶表面场强是否下降太多进行检查，若下降太多，需要对磁钢进行更换。二是要对靶电源是否有故障进行检查。三是要对起辉溅射真空度与前次的差别进行检查，对不同靶材进行更换，起辉压强也不相同。