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AST椭圆偏振光谱薄膜测厚仪SE300BM

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产品特点

能够自动的以0.01度的分辨率改变入射角度
系统有着全自动的计算功能及初始化功能
• 无需外部的光学器件,系统从样品测量信号中,直接就可以对样品进行精确的校准
• 可精密的调节高度及倾斜度
• 能够应用于测量不同厚度、不同类型的基片
• 各种方案及附件可用于诸如平面成像、测量波长扩展、焦斑测量等各种特殊的需求
• 2D和3D的图形输出和友好的用户数据管理界面。

详细介绍

· 型号:SE300BM
· 
探测器:阵列探测器
· 
光源:高功率的DUV-Vis-NIR复合光源
· 
指示角度变化:手动调节
· 
平台:ρ-θ配置的自动成像
· 
软件:TFProbe 3.2版本的软件
· 
计算机:Inter双核处理器、19”宽屏LCD显示器
· 
电源:110–240V AC/50-60Hz6A
· 
保修:一年的整机及零备件保修

规格: 
· 
波长范围:250nm1000 nm
· 
波长分辨率: 1nm
· 
光斑尺寸:1mm5mm可变
· 
入射角范围:090
· 
入射角变化分辨率:5 间隔
· 
样品尺寸:最大直径为300mm
· 
基板尺寸:最多可至20毫米厚
· 
测量厚度范围*0nm10μm
· 
测量时间:约1/位置点 
· 
精确度*:优于0.25
· 
重复性误差*:小于1 Ǻ

选项                 
· 
用于反射的光度测量或透射测量
· 
用于测量小区域的微小光斑
· 
用于改变入射角度的自动量角器
· X
Y成像平台(X-Y模式,取代ρ-θ模式)
· 
加热/致冷平台
· 
样品垂直安装角度计
· 
波长可扩展到远DUVIR范围
· 
扫描单色仪的配置
· 
联合MSP的数字成像功能,可用于对样品的图像进行测量

 


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