◇ 装置主体
● 可配置Cs校正器和CFEG
● 高速高精度的stage 与现有的马达驱动控制相比速度上提高了3倍、具备与Piezo驱动控制同等效力的微动控制能力。
◇ 操作简单
● 即使TEM的操作经验少也能直接操作设备
· 大量减少使用操作盘,直接按顺序点击显示画面上的按钮就能得到的图像
· 也可以用鼠标来进行调焦等操作
· 可以兼容GATAN CCD
● 自动调整功能
· 自动聚焦、自动调整样品高度、自动电子束传递、自动定位等
◇ 自动获取数据的功能
●按照操作菜单可自动获取数据
· TEM像、STEM像、元素面分布
· 可以对应栅格上的多个样品
◇ 和测长软件链接
● 在TEM上设定倍率可以对其他倍率进行校正
· 可以对多台JEM-ACE200F取得的数据自动测长
◇ 远程操作
● 可在隔壁房间操作设备
● 远程操作及多地同时观察(依赖于网络环境)
· 可与多个事务所一边讨论一边观察
◇ 封闭鏡筒,使环境耐受性提高
● 噪音、气流、室温变化得到了YZ
● 内壁装有吸音材料,可进一步防噪音
◇ 从分析仪器到分析工具
-STEM/TEM分析自动化、改进操作流程、品质管理稳定提高-

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日常使用的SEM,好用! 该设备ZG分辨率1nm、ZD探针电流300nA(之前的15倍),可提供丰富的观测和分析信息,用户界面操作简单、设计紧凑、配备大样品室。
JSM-IT800的场发射扫描电镜通用性强,可广泛应用于纳米材料、金属材料、半导体材料、化学化工、医学及生物学领域,可GX观察包括非导体样品及强磁性样品等。 JSM-IT800SHL分辨率可达0.5nm,成像能力强大。浸没式电子枪可提供500nA大电流,EDS和EBSD分析速度极快。 另外JSM-IT800系列还搭载了众多全新研发的电子光学技术,自动化程度极高。
JPS-9030 光电子能谱仪 JPS-9030配有静电透镜和分析器等JEOL多年的成功技术,具有高灵敏度和高分辨率,设计紧凑。特别是低加速电压和大束流离子枪使这款光电子能谱仪可以对不同厚度的薄膜进行样品表面原子层到微米级厚度样品层分析。样品室和刻蚀室真空是完全独立的,杜绝了污染,更好的保护超真空系统。
JAMP-9510F这款场发射俄歇电镜具有世界上zui高的空间分辨率:zui小束斑直径3nm(二次电子图像)和8nm(俄歇电子图像)。使用多通道探头的新的半球静电能量分析器(HAS)优化了俄歇分析,适合化学态分析。中性离子枪可用于绝缘材料的俄歇分析。样品台可装直径达95nm的样品。并且此仪器可扩展为UHV-SEM。
JEM-ARM300F2是GRAND ARMTM的第二代产品,该设备在性能上有了进一步的提高,无论采用怎样的加速电压都能获得超高空间分辨率图像和高灵敏度的元素分析。
以节能环保、减排低碳为理念开发的JEM-F200场发射透射电子显微镜,不仅提高了空间分辨率和分析性能,还采用了新的操作系统可满足多种使用途径,易用性强,外观设计精炼,能为不同层次的用户提供新奇的操作体验。
用于光学薄膜及电极膜等各种薄膜形成的电子束蒸镀用电子枪/电源。
软X射线分析谱仪(SXES :Soft X-Ray Emission Spectrometer)通过组合新开发的衍射光栅和高灵敏度X射线CCD相机,实现了极高的能量分辨率。 和EDS一样可以并行检测,并且能以0.3eV(费米边处Al-L基准)的极高能量分辨率进行分析,超过了WDS的能量分辨率。