URE-2000A 型紫外单面光刻机

。曝光面积：150mmX150mm

。曝光波长：365nm

。分辨力：0.8-1μm（胶厚 2 μm 的正胶）

。对准精度：±0. 6μm

。掩模样片整体运动范围：X：15mm;Y:15mm

。掩模尺寸：3 英寸、4 英寸、5 英寸、7 英寸

。样片尺寸：直径Ф15mm-- Ф150mm（各种不规则片），厚度 0.1mm--5mm(可拓展至 15mm)

。曝光方式：定时（倒计方式），0.1s-9999s

。具备真空接触曝光、硬接触曝光、压力接触曝光，以及接近式曝光四种功能

。照明不均匀性： 2.5%（Ф100mm 范围）5%（Ф150mm 范围）

。双目双视场对准显微镜：既可通过目镜目视对准，也可通过 CCD+显示器对准，光学合像，光学倍数 400 倍，光学+电子放大 800 倍

     物镜三对：4 倍、10 倍、20 倍

     目镜三对：10 倍、16 倍、20 倍12

。调平接触压力通过传感器保证重复

。数字设定对准间隙和曝光间隙

。具备压印模块接口，也具备接近模块接口

。掩模相对于样片运动行程：

    X: ±5mm; Y: ±5mm; Thelta: ±6 度

。胶厚：500μm(SU8 胶)

。光源平行性：1.2°

。曝光能量密度：>18mW/cm2

。冷却方式：循环水+风冷

。曝光面温度：<30°C

。汞灯功率：1000W（直流，进口

 

2．外形尺寸：1400mm（长）x1200mm(宽)x1950mm（高）

 

（1）曝光头

。冷光椭球镜

。1000W 进口直流高压汞灯(德国欧司朗,长寿命型)

。XYZ 汞灯调节台

。冷却风扇

。光学系统：固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜 1、准直镜镜 2、蝇眼透镜组（109 个透镜）、i 线滤光片、场镜1、场镜 2、冷光反射镜 1、反射镜 2

。循环水冷系统

 

。掩模样片整体运动台

。掩模样片相对运动台

。转动台

。样片调平机构,自动完成

。样片调焦机构，自动调

。承片台 4 个（2 英寸、3 英寸、4 英寸、6 英寸）

。掩模夹 4 个（3 英寸、4 英寸、5 英寸、7 英寸）

。基片抽拉式上下片机构

 

。光源（配备品 2 只）、电源

。双目双视场对准显微镜主体13

。目镜 3 对（10 倍、16 倍、20 倍，共 6 个）

。物镜 3 对（4 倍、10 倍、20 倍，共 6 个）

 

。光源（配备品 3 只）、电源

。成像光学系统（两套）

。数据采集卡

。三维工件台（两套）

。CCD（2 只）

 

。汞灯触发电源(1000W 直流汞灯)

。单片机控制系统

。控制柜桌

。计算机系统及液晶显示器

 

。气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等

。电磁阀驱动

。气动仪表

 

（7）其他附件

。真空泵一台（无油泵）

。空压机一台（静音泵）

。管道