应用分享丨平插式能谱仪表征SiC纳米颗粒

实验背景

温度传感在汽车、医疗、航空航天、农业和消费电子等关键行业中至关重要。温度是监测系统预期功能的关键变量，必须控制实时温度以优化工艺。热敏电阻精度和灵敏度高，温度范围在2-6摄氏度之间，应用广泛。在本研究中，作者制备了基于SiC纳米颗粒的丝网印刷墨水，用于制造高灵敏度和宽温度范围的热敏电阻。

测试过程

作者通过扫描电子显微镜观察了3C -SiC颗粒的形态，如图1所示，颗粒密集排列，孔隙率极低。并使用图像处理软件Imagej计算出薄膜的孔隙率为约9.74%。

图1. 3C -SiC颗粒的SEM显微图。

如图2所示，FlatQUAD可以清晰表征不平整样品且无阴影效应，可以在5kV低电压下表征纳米级颗粒。SiC颗粒的EDS图像显示：Si和C元素均匀分布，同时存在O元素，这是因为碳化硅颗粒表面存在天然的氧化壳。

图2.(a)SiC颗粒、(b) Si、(c) C和(d) O的EDS元素分布图。

实验结果

不同重量比的碳化硅纳米颗粒热敏电阻墨水被印制在IDE结构上，形成完全印刷的热敏电阻。实验结果为完全印刷的碳化硅热敏电阻的应用铺平了道路，Bruker仪器在实验中表现出极高分辨率。

更多信息请参阅原文

https://doi.org/10.3390/ma17112489

All Screen Printed and Flexible Silicon Carbide NTC Thermistors for Temperature Sensing Applications,Arjun Wadhwa,Jaime Benavides-Guerrero,Mathieu Gratuze,Martin Bolduc and Sylvain G. Cloutier

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