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一图看懂快速退火炉对半导体材料合金化的作用

来源:武汉嘉仪通科技有限公司 更新时间:2025-01-18 15:21:47 阅读量:69
导读:半导体材料要实现功能化,意味着要实现电信号的输入与输出,需要半导体材料与金属电极形成良好的欧姆接触。

半导体材料要实现功能化,意味着要实现电信号的输入与输出,需要半导体材料与金属电极形成良好的欧姆接触。通过快速退火将金属与接触材料融合降低接触电阻

我们以半导体硅和金属钛的合金化退火为例:

一定温度下,金属和半导体材料获得能量互相扩散,在界面处发生熔合,实现更加紧密的接触,从而降低接触电阻。减少因接触问题造成的电学测试干扰降低功耗,减少发热提高可靠性和寿命


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