实测案例——晶圆上氮氧化锂（LiPON）薄膜的表征（二）

上期内容回顾：实测案例——晶圆上氮氧化锂（LiPON）薄膜的表征（一）

结果：

样品 1 - 铂钛层上的锂磷氧氮薄膜

由于铂层厚度相对较高且具有强光学吸收特性，可将其视为光学上的半无限介质，因此在光学模型中作为有效衬底使用。锂磷氧氮薄膜的整面扫描图结果如下图所示。下图中展示了具有代表性的实验实测反射光谱（红色曲线）。光谱拟合在 400–900 nm 波长范围内进行。

图 4： 样品 1 - 铂钛层上锂磷氧氮薄膜区域的整面扫描图。

图 5：铂钛层上代表性测量点的反射光谱及锂磷氧氮薄膜厚度结果。

图 6：铂钛层上代表性测量点的快速傅里叶变换频谱图。

样品 1 - 硅基底上二氧化硅层之上的锂磷氧氮薄膜

锂磷氧氮薄膜及二氧化硅薄膜的厚度整面扫描图结果如下图所示。下图9展示了具有代表性的实验实测反射光谱（红色曲线）。光谱拟合在400–900 nm波长范围内进行，在拟合过程中同步确定了两个膜层的厚度。

图 7： 样品 1 - 锂磷氧氮薄膜区域的整面扫描图。

图 8： 样品 1 - 二氧化硅薄膜区域的整面扫描图。

图 9： 二氧化硅层上锂磷氧氮薄膜代表性测量点的反射光谱及厚度结果。

样品 2 - 二氧化硅薄膜

二氧化硅薄膜的厚度整面扫描图结果如下图所示。下图中展示了具有代表性的实验实测反射光谱（红色曲线）。光谱拟合在 400–900 nm 波长范围内进行。

图 10：样品 2 - 二氧化硅薄膜区域的整面扫描图。

图 11：二氧化硅薄膜代表性测量点的反射光谱及厚度结果。

结论：上述晶圆已成功完成表征，结果总结如下。具体而言，对应于各样品整面扫描图测量的统计数据表如下：