- 为您推荐:
分子束外延系统为一种在物理学、化学、材料科学领域应用的分析仪器。
近十几年来在半导体工艺中发展起来的一项新技术包括分子束外延技术,其在超高真空条件下,类似于真空蒸发镀把构成晶体的各个组分和予掺杂的原子(分子),通过一定的热运动速度,根据一定的比例由喷射炉中往基片上喷射去进行晶体外延生长而对单晶膜进行制备的一种方法。简称为MBE法。
分子束外延系统结构
样品进样室、预处理分析室和牛K窜等共同组成了分子束外延装置。通过闸扳阀隔开窜间,从而使生长室的超高真空与清洁得以确保。按照分子束外延装置系统的几何结构对真空系统进行相应地配置。按照要求,3个室的真空配置的配置泵的系统并不相同:
1、生长室
真空度为1.33×10-9帕。需要根据生长室的容积大小和所用的生长材料的阵质来进行配置。主泵主要为大抽速离子泵、太抽速闭路循环液氮低温泵、大抽速涡轮分子泵以及大抽速带冷阱的特种油扩散泵等四种泵,而通过钛来对泵进行升华加以辅助。
2、预处理分析室
真空度为1.33×10-8帕,是通过每秒400升抽速的离子泵来获得。
3、进样室
真空度为1.33×10-6到1.33×10-8帕。吸附泵或涡轮分子加离子泵在压力为1.33×10-6到1.33×10-7帕段使用。涡轮分子泵或其他泵加闭路循环液氮低温泵在压力为1.33×10-8帕使用,涡轮分子泵在压力为1.33×10-7帕时使用。
①本文由仪器网入驻的作者或注册的会员撰写并发布,观点仅代表作者本人,不代表仪器网立场。若内容侵犯到您的合法权益,请及时告诉,我们立即通知作者,并马上删除。
②凡本网注明"来源:仪器网"的所有作品,版权均属于仪器网,转载时须经本网同意,并请注明仪器网(www.yiqi.com)。
③本网转载并注明来源的作品,目的在于传递更多信息,并不代表本网赞同其观点或证实其内容的真实性,不承担此类作品侵权行为的直接责任及连带责任。其他媒体、网站或个人从本网转载时,必须保留本网注明的作品来源,并自负版权等法律责任。
④若本站内容侵犯到您的合法权益,请及时告诉,我们马上修改或删除。邮箱:hezou_yiqi
分子束外延系统产品导购
分子束外延系统产品资料
分子束外延系统产品厂家
最新资讯