扫描电子显微镜使用

　　扫描电子显微镜是自上世纪60年代作为商用电镜面世以来迅速发展起来的一种新型的电子光学仪器，被广泛地应用于化学、生物、医学、冶金、材料、半导体制造、微电路检查等各个研究领域和工业部门。

扫描电子显微镜操作规程

　　1、打开墙上配电箱里的空气开关。

　　2、打开变压器电源。

　　3、打开主机电源：钥匙拧到START位置，停两秒松手，钥匙回到I位置。

　　4、打开电脑电源。

　　5、点击桌面图标，等待。

　　6、当HT图标显示蓝色后，点VENT排气(排气时vent闪，排完气vent不闪)，排完气方可打开样品室。

　　7、正确选择Z轴高度(需要估计样品高度，Z轴大于样品高度放入样品，关闭样品台，点击EVAC抽气，抽气时推着样品室门，听到机械泵响声后松手。

　　8、打开HT图标(此图标在非真空下是灰色，真空位蓝色，打开灯丝拍照为绿色)。

　　9、扫描电子显微镜选择扫描模式、加速电压(0.5-30KV之间选择，一般微生物类样品选10左右)、WD工作距离(10-15之间选择)、SS电子束斑(一般选30-40)。

　　10、在SCAN2下调焦、调整对比度及亮度、调消象散(放大时照片晃动、或者样品变形、或者整体移动可点WOBBLE(一般10000倍左右调节有效果)调节光缆使照片不晃动)。

　　11、高倍下调清晰度，低倍下拍照，拍照选择photo(曝光40秒)或者SCAN4(曝光80秒)，拍完选择FREEZE并保存照片。

　　12、拍完照后关闭灯丝，点VENT排气(排气时vent闪，排完气vent不闪)，排完气方可打开样品室，取出样品台;关闭样品台，点击EVAC抽气，抽气时推着样品室门，听到机械泵响声后松手。

　　13、依次关闭软件、电脑、主机电源、变压器、空开。

扫描电子显微镜注意事项

　　1、注意Z轴的距离要足够高不要让样品碰到探头。

　　2、慢慢调节光缆，防止调节过快看不到被观察物。

　　3、取、放前一定要卸真空，再抽真空。

　　4、扫描电子显微镜关机的时候，要在真空状态下关机。

　　5、拍完照后要及时关闭灯丝。

　　6、请不要使用UBS接口，要拷贝数据请使用一次性光盘，光盘插入直接复制数据即可。

　　7、实验前后都要填写扫描电子显微镜使用登记表，实验完成后填写仪器使用记录。

　　8、正确操作扫描电子显微镜，使用过程中如发现仪器出现异常情况，应及时与实验室管理人员联系。

　　9、要求用托盘盛放药品，避免药品直接放在实验台上，实验结束及时清洁实验台，带走所有实验试剂及样品。

扫描电子显微镜维护保养

　　扫描电子显微镜虽然故障率较高，但大部分故障都发生在电路、真空和镜筒部分。关键是首先要搞清楚扫描电子显微镜的工作原理，出现故障要善于分析，找到关键症结所在。在平时的工作中要善于总结思考，摸清规律，并要注意平时的维护，这样才能降低设备故障率。

　　一、真空系统

　　扫描电子显微镜不工作时，应使镜筒(包括谱仪)内保持一定的真空度。以2-3天抽一次真空(低真空也可以)为宜。如果发现抽不到应达到的高真空，则需要及时进行仔细检查，一般先检查运动的部位。

　　1、机械泵

　　平时应经常检查油量，始终保持在油水平线上。注意皮带运转正常。定期(一年左右)换新油。

　　2、扩散泵

　　如果扩散泵太脏或者油变质，一般是低真空抽得上，高真空达不到应达真空度，这时必须清洗和换油。拆下蝶阀以下各部分，倒出被氧化或劣化了的油。换油前用汽油或四氯化碳清洗蝶阀、扩散泵各零件，然后用酒精脱水，热风吹干。装入新的扩散泵油100毫升，注意油量，太多或者太少都会影响抽气速率。

　　二、镜筒部分的维护

　　1、当改变灯丝旋钮时，束流指示表上读书不变，一般都是由于灯丝断了，必须进行更换。更换时用干净的绸布沾酒精洗擦电子枪内部周围，Z好用电吹风吹干。

　　2、如果有合轴困难、光束移动、亮度降低、畸变等现象，就要清洗固定光栏;如果像散增加，像有方向性变化，且难于校正，那就要清洗物镜活动光栏。

　　3、将光栏放在酒精灯火焰中烧，一直烧到暗红色，然后用石油醚、四氯化碳清洗干净。Z好再将光栏用超声波清洗。

　　4、闪烁体在具有一定能量的电子轰击下将逐渐老化，从而使灵敏度降低，噪声提高，必要时进行更换。更换时必须注意加速环与铝膜导电良好;收集极等要光滑，没有尖锐突出毛刺;光耦合良好。在闪烁体-光导管-倍增管的界面上可适当涂以硅油。