NEO3400系列是Trymax半导体设备行业-NEO系列先进等离子灰化和蚀刻产品

NEO3400系列是Trymax半导体设备行业-NEO系列先进等离子灰化和蚀刻产品的zui新成员之一。

它可以满足zui高产量，适应每个生产阶段和预算。 NEO 3000系统可配置任何现有的Trymax NEO工艺模块，并与直径达300mm的基板兼容。小尺寸和模块化设计可根据您的需要灵活配置。

•特征

 - zui大300毫米晶圆尺寸/基板尺寸

-3或4个装载端口

-4轴双臂机器人用横臂搬运

-2或4个处理室。

-4种不同的处理室技术：

•下游微波（2.45 GHz）

•射频偏压（13.56MHz）

•双源（微波，射频偏压）

•DCP（RF偏置，直接耦合等离子）

 - 优异的均匀性和可重复性

 - 机械吞吐量> 300wph

 - 紧凑的足迹

 - 非常低的拥有成本

 - 完全数字控制，Devicenet以太网

 - 基于窗口的工业计算机

•应用程序

 - 阻挡条带

-Descum处理

 - 去除聚合物

 - 邮寄高剂量植入带

 - 氮化硅蚀刻应用

-MEMS应用程序

 - 先进的包装加工（PR，PI，BCB，PBO）

设备咨询电话：182 6326 2536（微信同号）