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RIE等离子刻蚀机Etchlab 200
- 品牌:德国Sentech
- 型号: Etchlab 200
- 产地:德国
- 供应商报价: 面议
- 北京亚科晨旭科技有限公司 更新时间:2024-06-03 11:01:19
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企业性质授权代理商
入驻年限第4年
营业执照已审核
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- 详细介绍
RIE等离子刻蚀机Etchlab 200
低成本效益高
RIE等离子蚀刻机Etchlab 200结合平行板等离子体源设计与直接置片。
升级扩展性
根据其模块化设计,等离子蚀刻机Etchlab 200可升级为更大的真空泵组,预真空室和更多的气路。
SENTECH控制软件
该等离子刻蚀机配备了用户友好的强大软件,具有模拟图形用户界面,参数窗口,工艺编辑窗口,数据记录和用户管理。
Etchlab 200 RIE等离子刻蚀机代表了直接置片等离子刻蚀机家族,它结合了RIE的平行板电极设计和直接置片的成本效益设计的优点。Etchlab 200的特征是简单和快速的样品加载,从零件到直径为200mm或300mm的晶片直接加载到电极或载片器上。灵活性、模块性和占地面积小是Etchlab 200 的设计特点。位于顶部电极和反应腔体的诊断窗口可以方便地容纳SENTECH激光干涉仪或OES和RGA系统。椭偏仪端口可用于SENTECH原位椭偏仪进行原位监测。
Etchlab 200等离子蚀刻机可以配置成用于刻蚀直接加载的材料,包括但不限于硅和硅化合物,化合物半导体,介质和金属。
Etchlab 200通过先进的SENTECH控制软件操作,使用远程现场总线技术和用户友好的通用用户界面。
Etchlab 200
· RIE等离子蚀刻机
· 开盖设计
· 适用于200mm的晶片
· 用于激光干涉仪和OES的诊断窗口
· 选配椭偏仪接口
- 产品优势
- Etchlab 200 RIE等离子刻蚀机代表了直接置片等离子刻蚀机家族,它结合了RIE的平行板电极设计和直接置片的成本效益设计的优点。
- 美国Trion Technology反应式离子刻蚀(RIE/ICP)系统及沉积(PECVD)系统
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