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华师大登上 Nature 子刊:0.9 nm 的奇迹!飞纳场发射电镜见证二维芯片跨越亚纳米极限

来源:复纳科学仪器(上海)有限公司 更新时间:2026-03-26 14:00:32 阅读量:52
导读:华南师范大学霍能杰教授团队实现可控生长高κ介电层 MoO?,突破亚纳米极限,为“后硅时代”芯片铺路

01/

当芯片缩小到“亚纳米”,新材料接棒

硅的时代到来


当芯片的“微缩竞赛”逼近物理极限,硅基晶体管已难再前进半步。然而,科研团队并未停下脚步——他们把目光投向了二维材料。就在近日,华南师范大学团队在 Nature Communications 发表突破性研究--《Controllable growth of MoO? dielectrics with sub-1 nm equivalent oxide thickness for 2D electronics》:他们通过可控生长技术,成功制备出等效氧化层厚度(EOT)仅 0.9 nm 的 MoO? 高κ介电层,实现了在二维半导体晶体管中超薄、低漏电、低功耗的理想结构。

原文链接:

https://doi.org/10.1038/s41467-025-61972-y


使用飞纳电镜型号:

一分钟充满?飞纳场发射电镜助力 Nature 子刊研究,“无序”结构竟让锂电更快!

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