中科院/IOE

URE-2000/35 型紫外单面光刻机,非常适合工厂（效率高，操作傻瓜型，自动化程度高）和高校教学科研（可靠性好，演示方便）采用自动找平，具备真空接触曝光、硬接触曝、压力接触曝以及接近式曝光四种功能...

URE-2000/35L 型紫外单面光刻机,曝光面积：100mm×100mm；分辨力：1.0 μm（胶厚 2.0 μm 的正胶，365nm 波长）

DS-2000/14G 型无掩模单面光刻机,采用 DMD 作为数字掩模，像素数 1024×768 或 1920×1080 或 25601600 三种选配,采用缩小投影光刻物镜成像，分辨力 1um。

DS-2000/14K 无掩膜单面光刻机，采用 DMD 作为数字掩模，像素数 1024×768，采用 14 倍缩小投影光刻物镜成像。

URE-2000/600 紫外单面光刻机，光束口径： 650mm×650mm，对准精度： ±1.5μm

URE-2000/A12 紫外单面光刻机，曝光面积： 300mm×300mm；掩模尺寸： 7 英寸、9 英寸、13 英寸；

URE-2000/A8 紫外单面光刻机，曝光面积： 200mm×200mm；分辨力：≤ 2μm

URE-2000A 型紫外单面光刻机，曝光面积：150mmX150mm，分辨力：0.8-1μm（胶厚 2 μm 的正胶），对准精度：±0. 6μm

URE-2000S 系列双面光刻机，对准精度：±2 mm（双面,片厚 0.8mm），±0.8mm（单面）

URE-2000 系列紫外单面光刻机，此系列包含六种型号：URE-2000A,URE-2000B,URE-2000/35,URE-2000/3,URE-2000/25,URE-2000/17