详细介绍
产品简介
UNIXX HTe20型热板是一款桌面型半自动烘焙系统,用于晶圆的单面烘烤,可用于预烘烤(Pre-bake),前烘(soft bake),底胶涂覆(Primer Vapor)和后烘烤(hardbake坚膜)工艺。
产品特色
÷ 温度高达 300°C
÷ 电子驱动升降pin
÷ 支撑pin材料为不锈钢,尖端采用 PEEK 材料 (最大250°C)
÷ 程序控制支撑pin的升降(不同停止的速度和步数)
÷ 热板通过真空固定晶圆
÷ 热板盖手动控制
÷ 集成排烟装置
÷ 通过设置receip自动进行加热处理
主要技术数据
÷ 衬底尺寸: 最大可达 Ø200 mm (Ø 8”) 或 200 x 200 mm (8 x 8 inch)
÷ 温度: 最大可达 300°C, 步进1°C
÷ 温度精度: < ±1°C@100°C
÷ 支撑pin: Ø50 mm (Ø2”) ,最大可达 Ø200 mm(Ø8”) 或 200 x 200mm (8 x 8 inch)
÷ 热板材质: 硬质阳极氧化铝
÷ 加热盖材质: 不锈钢
可选项
÷ 支撑pin材料
÷ 边缘支撑pin
÷ N2吹扫
÷ HMDS 热板系统(六甲基二硅胺底胶蒸汽涂覆)
÷ 600℃热板
÷ 真空泵
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仪企号倬昊纳米科技(上海)中心
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