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AOI自动光学检测

 
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德国Intego切割晶圆AOI光学缺陷检测仪
  • 品牌: 德国Intego
  • 型号:Diced Wafer Inspection
  • 产地:德国
  • 高您的生产效率对切割的晶圆进行可靠检测是进一步芯片加工的基本前提。因此,德国Intego公司开发了特殊的方法来可靠地检测和检查切割道的微裂纹。例如,FFC 上芯片的箔波纹度和高度差异对检测过程没有明显

德国Intego外延和图形晶圆AOI光学缺陷检测仪
  • 品牌: 德国Intego
  • 型号:Epitaxial and Patterned Wafer
  • 产地:德国
  • 高您的生产效率在外延层的生产中,由于衬底质量不完善、与工艺相关的污染和涂层工艺,可能会出现各种不同的缺陷。为了安全可靠的检测,有各种复杂的检测方法可供选择。特别是,光致发光和 DIC 显微镜能够可靠地

德国Intego裸晶圆AOI光学缺陷检测仪
  • 品牌: 德国Intego
  • 型号:Bare Wafer
  • 产地:德国
  • 高您的生产效率二十多年来,德国Intego公司一直为晶圆生产提供标准和定制的光学检测系统。生产无瑕疵晶圆并持续提高良率是半导体行业的重中之重。早期检测损坏的晶圆不仅可以节省不必要的工艺时间,而且还可以

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