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Candela 8520表面缺陷检测系统
- 品牌:美国KLA
- 型号: Candela 8520
- 产地:美国
- 供应商报价: 面议
- 深圳市科时达电子科技有限公司 更新时间:2024-05-14 06:32:28
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企业性质一般经销商
入驻年限第3年
营业执照已审核
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联系方式:林建军0755-29852340
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- 详细介绍
- 产品优势
- Candela 8520第二代集成光致发光(PL)和表面检测系统旨在对SiC和GaN衬底上的衬底和外延缺陷进行高级表征。利用统计过程控制(SPC)方法实现自动化晶片检测显著降低了由于外延缺陷造成的产量损失,最小化了金属有机化学气相沉积(MOCVD)反应器工艺偏差,并增加了MOCVD反应器的正常运行时间。