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光学镀膜机 NOC-4000光学镀膜系统 那诺-马斯特

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详细介绍

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NOC-4000光学镀膜系统概述:NANO-MASTER NOC-4000光学涂覆系统提供先进的技术,在一个腔体中实现原子级清洗和光学样片抛光,然后把样片传送到第二级腔体中对同一样片进行表面涂覆,整个过程不间断真空。系统的设计也可以支持其中任一个腔体的单独使用,同时具备各自的自动上/下载片功能。

 

NOC-4000光学镀膜系统应用:

  • 光学涂层

  • 溅射

  • 离子束辅助沉积

  • 离子束刻蚀清洗

  • 离子束辅助反应刻蚀

  • 红外涂层

  • 表面处理

 

NOC-4000光学镀膜系统产品特点:

  • 射频偏压样品台

  • 膜厚监测仪

  • 极限真空5x10-7Torr

  • 高精度及高重复性

  • 高品质膜层

  • 原子级的洁净表面

  • 原子级清洗和抛光

  • 通过LabView软件实现PC计算机全自动控制

  • 自动上下载片

  • 两个腔体之间自动传送

  • 菜单驱动,4级密码访问保护

  • 完整的安全联锁

  • 占地面积46”D x 44”W

 

NOC-4000光学镀膜系统选配项:

  • 向下/向上溅射

  • 共溅射

  • DC,RF以及脉冲电源

  • 离子束辅助沉积

  • 电子束源

  • 等离子源


产品优势
NANO-MASTER NOC-4000光学涂覆系统提供先进的技术,在一个腔体中实现原子级清洗和光学样片抛光,然后把样片传送到第二级腔体中对同一样片进行表面涂覆,整个过程不间断真空。系统的设计也可以支持其中任一个腔体的单独使用,同时具备各自的自动上/下载片功能。
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