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干法刻蚀机 NIM-4000(M)离子铣刻蚀系统 那诺-马斯特
- 品牌:美国那诺-马斯特
- 型号: NIM-4000(M)
- 产地:美国
- 供应商报价: 面议
- 那诺—马斯特中国有限公司 更新时间:2024-04-23 10:17:06
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企业性质生产商
入驻年限第3年
营业执照已审核
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- 标签: 刻蚀机 刻蚀设备 离子束刻蚀 离子束刻蚀机 ibe离子束刻蚀
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- 详细介绍
NIM-4000(M)离子铣刻蚀系统产品概述:利用离子束轰击固体表面的溅射作用,剥离加工各种几何图形,通过大面积离子源产生的离子束,可对固体材料溅射刻蚀,对固体器件进行微细加工。该系统为全自动上下载片,计算机全自动控制的系统。
NANO-MASTER技术已经证明了可以把基片温度控制在50° C以内的同时,旋转晶圆片以达到想要的均匀度。
NIM-4000(M)离子铣刻蚀系统产品特点:
14.5”不锈钢立体离子束腔体
16cm DC离子枪1200eV,650mA, 气动不锈钢遮板
离子束中和器
氩气MFC
6”水冷样品台
晶片旋转速度3、10RPM,真空步进电机
步进电机控制晶圆片倾斜
自动上下载晶圆片
典型刻蚀速率:铜200 ?/min, 硅:500 ?/min
6”范围内,刻蚀均匀度+/-3%
极限真空5x10-7Torr,20分钟内可达到10-6Torr级别(配套500 l/s涡轮分子泵)
配套1000 l/s涡轮分子泵,极限真空可达8x10-8Torr
磁控溅射Si3N4以保护被刻蚀金属表面被氧化
基于LabView软件的PC计算机全自动控制
菜单驱动,4级密码访问保护
完整的安全联锁
- 产品优势
- NIM-4000(M)离子铣刻蚀系统:利用离子束轰击固体表面的溅射作用,剥离加工各种几何图形,通过大面积离子源产生的离子束,可对固体材料溅射刻蚀,对固体器件进行微细加工。
- 产品文章
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