产品简介
CHEMIXX (CL-E OR D) 1201具有集成处理模块和机器人处理的单处理湿法系统适用于蚀刻、清洁或显影工艺等应用。该系统概念具有可编程排气和精心设计的气流,可在晶圆和衬底上提供极好的均匀度和清洁的表面。此应用模块配备有 BSR 喷嘴和多达三个可编程的点胶臂,同时提供了许多不同的喷嘴类型选项。I/O Station 配备 Foup 可用于最大 300 毫米的晶圆或最大 9 x 9 英寸的衬底(掩模),作为其他选项,我们还提供作为开放式卡塞盒的 I/O Station。内部用户界面具有所有需要的功能,例如配方编程、维护和用户管理。所有必要的介质供应,如CDA、N2、真空和去离子水都可以通过插入式连接插入并由软件控制。
产品特色
÷ 应用领域:清洗、蚀刻或显影
÷ 衬底尺寸可达 Ø300 毫米或可达 230 x 230 毫米
÷ 最多三个电动介质臂
÷ 用于去离子水的不同类型的喷嘴和 BSR 喷嘴
÷ 去离子水室冲洗
÷ 电阻率 PH-Sensor 控制
÷ 单臂或双臂机器人衬底处理
÷ 带 FOUP 或 Cassette 的 IO-Station
÷ 真空或低接触卡盘
÷ 用于10或40升不同化学品装罐的外部介质容器。
系统设计
÷ 系统框架由粉末涂层不锈钢制成
÷ 加工区域为可上锁透明门
÷ 由 PP 白色制成的工艺室(可选 ECTFE)
÷ 系统前端的紧急停止按钮
÷ 两个或多个排水分流器(传感器控制和通过配方编程)
÷ 带有四个光区的信号灯,使系统状态可视化
÷ 可调水平脚和运输轮
÷ 满足洁净室等级 10 (ISO 4) 的通用设计
技术数据
通用
衬底尺寸: 最大可达 Ø300 mm (Ø12 inch) 或 230 x 230 mm (9 x 9 inch)
电机转速: 最大 6.000 转数*, 以 1 转 步进可编程
电机加速: 最大 40.000 转/秒*, 以 1 转/秒的步进
步进时间: 1 至 999.9 秒,步长为 0.1 秒
系统架构: 由粉末涂层不锈钢制成,4 个可调节支脚和运输轮以及用于加工区域的透明和可锁定的玻璃门
处理室: 由 PP 白色制成(可选 ECTFE)
加工碗: 由 PP 天然制成
*取决于卡盘设计、衬底重量和负载
要求
电源: 400(208) VAC / 3 相 / N / PE / 50(60) Hz
真空: -0.8 巴 (-80KPa), 管 OD Ø8 mm
CDA: 8 巴(800KPa), 管 OD Ø10 mm
氮: 4.5 巴(450KPa), 管 OD Ø10 mm
去离子水: 2-3 巴(200-300KPa), OD Ø16.7 mm (3/8”)
排气过程: 1x OD Ø110 mm, 50 - 120m3/h*
排气容器: 1x OD Ø110 mm, 50 - 180m3/h*
排水: 带有高液位传感器的废物罐或设施排水管*
*化学和工艺相关
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