瑞士Powatec 12寸晶圆贴膜机

POWATEC L-300 手动层压机的独特设计允许一次性将粘性箔或 UV 箔层压到最大 300 毫米的晶圆上。在层压过程中，一个特殊的卡盘通过真空将晶圆固定在适当的位置。使用橡胶辊，箔安装无气泡。使用切割装置，薄膜在框架上被切割并被薄膜卷的横向直径分开。

主要特点：

• 高达 300 毫米的晶圆尺寸

• 带平面或不带平面的卡盘设计

• 可调胶带张力

• 快速轻松地转换为各种晶圆和箔片

• 紧凑而坚固的桌子设计

• 安装和启动时间短

• 运营成本低

• UPH，胶带晶圆/小时高达 80 片

选项：

• UV胶带
  （PTW）保护胶带卷绕机的自动卷绕装置 

• 静电荷主动保护 (ASB)

• 带储物空间的桌子，适用于洁净室