采购成本低=总拥有成本 (COO) 低
没有产生有害臭氧
零预热时间
UV - LED使用寿命长( 10,000小时以上)
低强度下降(10,000小时内下降 5%)
对薄膜没有热影响
紧凑而坚固的桌子设计
安装和实施时间短
维护成本低
符合IEC 204-1安全标准
生产率130-180晶圆/小时。
氮气淋浴
带储物空间的支撑台,适用于洁净室
详细介绍
POWATEC 固化系统用于固化最大 8" 的晶圆和框架。LED 产生 365 nm 的波长,最大输出光功率为 750 mW。
打开盖子,将晶圆放在左侧传送带上。按下启动按钮。晶圆在 LED 单元上方移动到右侧。固化在大约 20-30 秒后完成,产生 130-180 帧/小时的稳定吞吐量。完全可调的固化时间范围在 15 秒到 3 分钟之间。
主要特点:
选项:
- 产品分类
- 品牌分类
- 原子力显微镜
- 晶圆厚度翘曲量测系统
- CMP化学机械抛光机
- 晶圆研磨减薄机
- MEMS研发制造设备
- 半导体光刻工艺设备
- 纳米压印光刻机
- 轮廓仪
- 台阶仪 膜厚仪
- 纳米压痕仪
- 晶圆封装工艺
- 缺陷分析仪
- AOI自动光学检测
- 失效分析
- (韩国)韩国Park Systems
- (美国)美国Nanovea
- (美国)美国KLA
- (德国)德国Osiris
- (德国)德国SENTRONICS
- (德国)德国G&N
- (瑞士)瑞士SCIL
- (瑞士)瑞士idonus
- (韩国)韩国CTS
- (瑞士)瑞士POWATEC
- (美国)美国Lumina
- (德国)德国Intego
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仪企号倬昊纳米科技(上海)中心
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