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瑞士Powatec 8寸晶圆紫外固化机
- 品牌:瑞士POWATEC
- 型号: U-200
- 产地:瑞士
- 供应商报价: 面议
- 倬昊纳米科技(上海)中心 更新时间:2024-04-21 22:44:05
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企业性质授权代理商
入驻年限第3年
营业执照已审核
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- 详细介绍
POWATEC 固化系统用于固化最大 8" 的晶圆和框架。LED 产生 365 nm 的波长,最大输出光功率为 750 mW。
打开盖子,将晶圆放在左侧传送带上。按下启动按钮。晶圆在 LED 单元上方移动到右侧。固化在大约 20-30 秒后完成,产生 130-180 帧/小时的稳定吞吐量。完全可调的固化时间范围在 15 秒到 3 分钟之间。
主要特点:
采购成本低=总拥有成本 (COO) 低
没有产生有害臭氧
零预热时间
UV - LED使用寿命长( 10,000小时以上)
低强度下降(10,000小时内下降 5%)
对薄膜没有热影响
紧凑而坚固的桌子设计
安装和实施时间短
维护成本低
符合IEC 204-1安全标准
生产率130-180晶圆/小时。
选项:
氮气淋浴
带储物空间的支撑台,适用于洁净室