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瑞士Powatec 8寸晶圆紫外固化机

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详细介绍

POWATEC 固化系统用于固化最大 8" 的晶圆和框架。LED 产生 365 nm 的波长,最大输出光功率为 750 mW。

打开盖子,将晶圆放在左侧传送带上。按下启动按钮。晶圆在 LED 单元上方移动到右侧。固化在大约 20-30 秒后完成,产生 130-180 帧/小时的稳定吞吐量。完全可调的固化时间范围在 15 秒到 3 分钟之间。

主要特点:

  • 采购成本低=总拥有成本 (COO) 低

  • 没有产生有害臭氧

  • 零预热时间

  • UV - LED使用寿命长( 10,000小时以上)

  • 低强度下降(10,000小时内下降 5%)

  • 对薄膜没有热影响

  • 紧凑而坚固的桌子设计

  • 安装和实施时间短

  • 维护成本低

  • 符合IEC 204-1安全标准

  • 生产率130-180晶圆/小时

选项:

  • 氮气淋浴

  • 带储物空间的支撑台,适用于洁净室

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