-
-
KLOE 微流控芯片光刻机/曝光机 UV-KUB系列
- 品牌:北京燕京
- 型号: UV-KUB系列
- 产地:法国
- 供应商报价: 面议
- 北京燕京电子有限公司 更新时间:2023-03-06 10:34:29
-
企业性质生产商
入驻年限第5年
营业执照已审核
- 同类产品PMDS芯片制备系统(8件)
-
为您推荐
- 详细介绍
KLOE 微流控芯片光刻机/曝光机 UV-KUB系列
图片
简介
法国KLOE公司在光刻方面有着丰富的经验,其研发的UV- KUB系列光刻机是一种基于UV LED的曝光机系统,结构紧凑,可以直接放置在实验台上,能够处理最 大直径4英寸的晶圆,兼容硬接触(接触式)或者软接触(接近式)工艺,可自动调整掩膜高度以适应不同的基板厚度,可使用365 nm或405 nm的光源,不需要预热,也不需要单独的冷却单元。另外,UV-KUB系列先进的设计,保证了光源的准直性和均匀性,其最小分辨率可达2μm,最 大发散角小于2°
本系统适用于市面上常用的光刻胶,如AZ系列、Shipley系列、SU-8系列和K-CL系列。
规格参数
项目
UV-KUB 2
UV-KUB 3
最小分辨率
2 μm
2 μm
光源波长
365 nm / 385 nm / 405 nm
365 nm
能量密度
25 mW / cm² ± 10 %
30 mW / cm² ± 10 %
热效应最 大升温
< 1°C
< 1°C
曝光时间
1s~18 hours
1s~18 hours
最 大存储程序数量
10个
无限制
对准分辨率
/
< 3 μm
外形尺寸
260 x 260 x 260 mm³
480 x 480 x 480 mm³
重量
8.2 kg
55 kg
显示屏
彩色触摸屏5.7 inches
彩色触摸屏15.6 inches
功能图解
UV-KUB 2型光刻机,是国际市场上第 一款采用UV-LED光源系统的光刻机,其配备了基于LED光源的光学头,使用寿命大大提高,结构小巧,性价比高,非常适合实验室应用。
UV-KUB 3是一款带对位功能的UV-LED曝光机,光源为365nm,其触摸屏和CCD相机代替了传统的显微镜及双筒目镜,控制器提供了图像捕获、测量以及对齐坐标的记录等功能,可以实现预对准,这样,用户再通过操作手柄便能方便的进行的对准操作。
UV-KUB 2
UV-KUB 3
应用系统
微流控芯片
MEMS器件
- 产品优势
- 法国KLOE公司在光刻方面有着丰富的经验,其研发的UV- KUB系列光刻机是一种基于UV LED的曝光机系统,结构紧凑,可以直接放置在实验台上,能够处理zuida直径4英寸的晶圆,兼容硬接触(接触式)或者软接触(接近式)工艺,可自动调整掩膜高度以适应不同的基板厚度,可使用365 nm或405 nm的光源,不需要预热,也不需要单独的冷却单元。另外,UV-KUB系列先进的设计,保证了光源的准直性和均匀性,其zui小分辨率可达2μm,zuida发散角小于2°
本系统适用于市面上常用的光刻胶,如AZ系列、Shipley系列、SU-8系列和K-CL系列。 - 技术资料
-
- Micronit 微流控芯片标准夹具 FC系列
- Eden-microfluidics微流控芯片环氧树脂模具制作工具套装Epoxym ™
- Eden-microfluidics 微流控芯片快速制备材料 Flexdym ™
- 微流控芯片夹具PRO 4515(topconnection)
- 微流控芯片夹具15mm×15mm(sideconnection)
- 微流控芯片夹具15mm×30mm(sideconnection)
- 高分辨率微流控UVK3紫外线曝光机
- 液滴微流控芯片系统
- 微流控芯片3D打印机
- 恒温扩增微流控芯片核酸分析仪
- 无锡冠亚专用山东微流控芯片系统中测温及控温装置
- PDMS微流控芯片制作系统 EasyPDMS