CSI 连续化学品检测系统

CSI 连续化学品检测系统

有两种类型的样品运输方式：液相（LT）和气溶胶相（AT）。LT 型号专为监测储罐、罐体和卡车而设计，能够测定几乎所有化学品的亚ppm 级别的金属杂质。样品传输管应直接与 CSI 连接。AT 型号专为监测事故而设计，能够测定某些化学品的单ppm 级别的金属杂质。

◆FAB 区域 - 化学溶液通过使用一根狭窄的聚四氟乙烯（PFA）管（最  多 6 根）从清洗浴的循环线输送到采样模块（AT 型），并通过特殊雾化器和氩气产生所选化学溶液的气溶胶。气溶胶通过氩气穿过 PFA 管，并被传输至电感耦合等离子体质谱仪（ICP-MS）。采样模块与 ICP-MS 之间的最   大距离约为 100 米。

目前分析的典型化学物质有氢氟酸（HF）、H2O2、氯化氢（HCl）、氢化三甲基胺（TMAH）、NH4OH、H2SO4、异丙醇（IPA）和稀释剂。这些化学物质仅通过一台电感耦合等离子体质谱仪（ICP-MS）依次进行分析，持续 24 - 7 小时。针对每种化学物质，调谐条件可自动切换。

◆在线化学源接口软件（OIS） - OIS 是一款智能软件，用于控制每个采样模块、进样模块和电离质谱仪（ICP-MS）。ICP-MS 被用作检测器，包括校准曲线在内的所有信息均由 OIS 管理。OIS 具有以下功能

通过标准加入法进行自动校准和重新校准。

- 检查校准曲线的相关系数、最    小灵敏度、标准偏差（SD）和相对标准偏差（RSD），以及如果结果超出限值时的自动重新分析功能。

定期检查质量控制标准（QC）。

通过内部标准对每个采样模块进行灵敏度补偿。

- 两个浓度上限，以及警报和输出信号的产生。

在当前样本之后插入卡车样本。

- 针对每种化学物质更改电感耦合等离子体质谱法（取决于电感耦合等离子体质谱仪型号）。

每个样本的浓度和计数的趋势图。

- 与阀歧管箱（VMB）进行通信。

- 通过 SECS 协议与晶圆厂的 CIM-HOST 进行通信。（可选）

以下是通过 LT 模型分析的各种化学品的标准添加校准曲线。所有化学品均依次进行分析以下是通过 AT 模型（100 微米聚四氟乙烯管）获得的 SC-1 和 SC-2 化学浴的趋势图。在每个化学浴中添加了混合标准溶液。添加标准元素后，检测到添加的标准元素大约需要两分钟