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URE-2000/A8 紫外单面光刻机
- 品牌：中科院
- 型号： URE-2000/A8
- 产地：成都
- 供应商报价： 面议
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深圳市蓝星宇电子科技有限公司
更新时间：2024-04-10 09:45:03 -
企业性质生产商
入驻年限第6年
营业执照已审核
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- 详细介绍
- URE-2000/A8 紫外单面光刻机1、设备主要技术指标：(1) 曝光面积： 200mm×200mm；（2）分辨力：≤ 2μm；（3）对准精度：±2μm；（4）掩模尺寸：5 英寸、7 英寸、9 英寸；（5）样片尺寸：4 英寸、6 英寸、8 英寸；（6）wafer chuck 表面：防止光反射涂层；（7）掩模样片整体运动范围：X：10mm;Y:10mm；（8）掩模相对于样片运动行程：X: ±5mm; Y: ±5mm; Thelta: ±6°；（9）汞灯功率：1000W（直流）；（10）曝光能量密度：≥ 15mW/cm 2 ；（11）曝光峰值波长:365nm；（12）曝光方式：定时（计时方式 0.1s—999.9s）；（13）调平接触压力通过传感器保证重复（14）数字设定对准间隙和曝光间隙（15）具备压印模块接口，也具备接近模块接口2．技术主要组成部分（1）曝光头系统包括:。 冷光椭球镜；。德国 OSRAM1000W 直流高压汞灯；。XYZ 汞灯调节台；。 光学系统（冷光紫外平面反射镜、快门、蝇眼透镜组、冷光紫外抛物面反射镜）；。 冷却风扇。（2）对准工件台系统包括:。掩模样片相对运动台；。（XY），转动台；。 样片调平机构；。 样片调焦机构；。 承片台 3 个： 4 英寸、6 英寸、8 英寸；。 掩模夹 3 个：5 英寸、7 英寸、9 英寸。（3）CCD 对准显微镜系统包括:。4 倍显微镜 2 只；。照明光源 2 套；。 CCD 相机 2 只；。22 英寸液晶显示器。（5）电控系统：。 汞灯触发电源(1000W)；。 单片机控制系统；。 控制柜桌。（6）气动系统系统包括:。气缸、电磁阀、减压阀、气动开关，电磁阀驱动，气动仪表等（7）其他配置与附件。真空泵一台；。空压机一台；。 配套气管 10m；
- 产品优势
- URE-2000/A8 紫外单面光刻机，曝光面积： 200mm×200mm；分辨力：≤ 2μm
