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离子溅射仪为一种有着紧凑结构的桌上型镀膜系统,对于扫描电镜成像中非导电样品高质量镀膜尤为适用。试样干燥清洁为离子溅射镀膜的基本要求。在必要时,交换试样与阴极的位置利用火花放电从而对试样表面进行清洁,之后试样复原,再进行溅射镀膜。铁、镍、铜铅等为离子溅射仪常用的阴极材料,有时电刚金、铂、钯、铟和其他金属也能够作为阴极材料,氧气为离子溅射仪常用的反应气体。
离子溅射仪系统安装
1、电源要求:220VAC,50赫兹
2、工作台要求:长120厘米×宽100厘米
3、将包装箱小心拆开,将真空泵和溅射仪主机取出,并且在工作台上放置,在溅射仪主机的后面放置真空泵。
4、将油雾过滤器在真空泵上安装,并且将适量的真空泵油往进油口倒入,使真空泵油在观察窗口的上线和下线之间得以确保(设备出厂时有可能已经有适当真空泵油被装在真空泵中)。
5、小心地抬起溅射仪主机上的溅射头并且尽可能地向后仰,使溅射头不会倒下得以确保。将溅射头保护垫移走,将玻璃样品室安上,再将溅射头小心轻轻的放下。
6、在真空泵和溅射仪主机连接金属真空管件,在连接以前shou先将真空管转接头安装在真空泵上。在连接时需要将真空垫圈在每个接口垫上。为了避免真空泄漏,在连接以后值得注意的是将接口锁紧。
7、通过电源线连接上真空泵和溅射仪主机,并且将真空泵上的开关打到开的位置。
8、将溅射仪主机的电源线接上,并且将溅射仪主机后面的进气口打开。
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