离子溅射仪系统测试和基本参数

离子溅射仪为一种有着紧凑结构的桌上型镀膜系统，对于扫描电镜成像中非导电样品高质量镀膜尤为适用。试样干燥清洁为离子溅射镀膜的基本要求。在必要时，交换试样与阴极的位置利用火花放电从而对试样表面进行清洁，之后试样复原，再进行溅射镀膜。铁、镍、铜铅等为离子溅射仪常用的阴极材料，有时电刚金、铂、钯、铟和其他金属也能够作为阴极材料，氧气为离子溅射仪常用的反应气体。

离子溅射仪系统测试：

离子溅射仪真空系统:

1、对电压合适与否进行检查，将离子溅射仪主机电源插上。

2、将气体控制阀关闭。

3、将控制单元打开。

4、将泵暖机5分钟。

5、将控制单元关闭，将溅射头上盖的放气阀拔出放气,结束放气以后再将阀放下。

6、再次将控制单元，对0.1兆比特耗时进行检查，90秒钟较为合适。

7、运行15分钟，对真空到大约0.01兆比特进行检查。

8、将电源关掉。

离子溅射仪系统溅射单元：

1、抽真空至低于0.05兆比特。

2、对前面控制面板上的气体控制阀进行调节，使得压力稳定在大约0.08兆比特。

3、将主机后面的溅射电流控制旋钮顺时针旋转到底。

4、将TEST按下，这时mb灯熄灭，电流灯亮起，量表显示大约45毫安。

离子溅射仪基本参数：

离子电流:不超过50毫安

镀膜时间:9档,5秒至3600秒

气体控制:微调进气阀，能够和φ3毫米软管连接，将气体通入，对真空度和溅射电流进行调节。

zui高电压:负1200伏特

机械泵:标准配置每秒2升

主机规格:长360毫米,高300毫米,深380毫米

真空室:直径:160毫米,高:120毫米

上部电极:靶材料标准配置:金，靶直径:50毫米，厚度:0.1毫米。

溅射面积:中50毫米,zui高真空度:不超过4×100mbar