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离子溅射仪维护

离子溅射仪为一种有着紧凑结构的桌上型镀膜系统,对于扫描电镜成像中非导电样品高质量镀膜尤为适用。试样干燥清洁为离子溅射镀膜的基本要求。在必要时,交换试样与阴极的位置利用火花放电从而对试样表面进行清洁,之后试样复原,再进行溅射镀膜。铁、镍、铜铅等为离子溅射仪常用的阴极材料,有时电刚金、铂、钯、铟和其他金属也能够作为阴极材料,氧气为离子溅射仪常用的反应气体。


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离子溅射仪维护:

在扫描电镜的样品预处理中,给样品表面镀金,对样品的导电性进行改善为离子溅射仪的主要用途。这些年以来,经常会有报错,不可以正常镀金的情况发生,需要进行维护。


1、对真空度进行调节

若将样品仓内壁清理了依然还是报错,则需要对仪器的真空度加以留心。一般7帕为镀金时仓内压力,当压力维持在6帕或者更加小的时候就容易报错。将样品放好,将样品仓盖上,镀金程序启动,对仪器面板上的压力变化进行观察,待到仪器正面第二个指示灯(对真空度进行调节)闪动时,对下面的旋钮进行调整,当顺时针旋转时会增大压力,当逆时针旋转时会减小压力,按照需求认真调整到7帕左右就行,如此,仪器即可正常镀金了。


2、对样品仓进行清洁

在对仪器的使用中,在样品仓内壁上会有污染物沉积,通常在使用前会使用干净的布或纸擦拭,再使用洗耳球吹净。仪器使用较长的时间,在内壁下沿会附着有很多金颗粒,擦除掉相当困难,能够在样品仓内涂金属抛光膏,再使用纸反复擦拭,即较为容易清理,之后再使用酒精清理。


2007-01-13 浏览次数:26次
本文来源:https://www.yiqi.com/daogou/detail_4792.html
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