离子溅射仪维护

离子溅射仪为一种有着紧凑结构的桌上型镀膜系统，对于扫描电镜成像中非导电样品高质量镀膜尤为适用。试样干燥清洁为离子溅射镀膜的基本要求。在必要时，交换试样与阴极的位置利用火花放电从而对试样表面进行清洁，之后试样复原，再进行溅射镀膜。铁、镍、铜铅等为离子溅射仪常用的阴极材料，有时电刚金、铂、钯、铟和其他金属也能够作为阴极材料，氧气为离子溅射仪常用的反应气体。

离子溅射仪维护：

在扫描电镜的样品预处理中，给样品表面镀金，对样品的导电性进行改善为离子溅射仪的主要用途。这些年以来，经常会有报错，不可以正常镀金的情况发生，需要进行维护。

1、对真空度进行调节

若将样品仓内壁清理了依然还是报错，则需要对仪器的真空度加以留心。一般7帕为镀金时仓内压力，当压力维持在6帕或者更加小的时候就容易报错。将样品放好，将样品仓盖上，镀金程序启动，对仪器面板上的压力变化进行观察，待到仪器正面第二个指示灯（对真空度进行调节）闪动时，对下面的旋钮进行调整，当顺时针旋转时会增大压力，当逆时针旋转时会减小压力，按照需求认真调整到7帕左右就行，如此，仪器即可正常镀金了。

2、对样品仓进行清洁

在对仪器的使用中，在样品仓内壁上会有污染物沉积，通常在使用前会使用干净的布或纸擦拭，再使用洗耳球吹净。仪器使用较长的时间，在内壁下沿会附着有很多金颗粒，擦除掉相当困难，能够在样品仓内涂金属抛光膏，再使用纸反复擦拭，即较为容易清理，之后再使用酒精清理。