德国Raith 电子束光刻机

PIONEER Two  电子束光刻机

Best of both worlds: Directwrite and direct view

PIONEER Two – 顶 级技术，兼顾最 佳：EBL与成像集成于单一系统

PIONEER Two 是所有对电子束光刻系统和分析型扫描电子显微镜在成像目的上有同等需求的大学和科学家的理想解决方案。

PIONEER Two 是一款理想的 EBL‑SEM 混合系统，将专业电子束光刻和扫描电子显微镜的所有组件集成到一个完整的即装系统之中。

该系统几乎支持无限的纳米光刻、成像和分析应用带宽。该系统架构在设计时特别考虑了大学环境中的研究预算。同时，PIONEER Two 在线宽、拼接和叠加方面提供保证的电子束光刻性能。