-
-
-
PICOSUN 高级原子沉积机 P-300B Advanced ALD
- 品牌：芬兰Picosun
- 型号： P-300B
- 产地：芬兰
- 供应商报价： 面议
-
深圳市蓝星宇电子科技有限公司
更新时间：2024-04-24 09:08:30 -
企业性质生产商
入驻年限第6年
营业执照已审核
- 同类产品芬兰 Picosun 原子层沉积机(12件)
联系方式：廖敬强0755-81776600
联系我们时请说明在仪器网（www.yiqi.com）上看到的!
-
为您推荐
- 详细介绍
PICOSUN 高级原子沉积机 P-300B Advanced ALD
技术参数
。基片尺寸和类型 300mm晶圆10片/批次（标准间距）
。200mm晶圆25+2片/批次（标准间距）工艺温度 ：50 - 500 °C
基片传送选件：。 气动升降（手动加载）
。半自动装载，用线性装载器实现
。52片晶圆盒式全自动装载，用真空批量Load lock实现前驱体： 。液态，固态，气态，臭氧源
。前驱源余量传感器，并提供清洗和装源服务
。4根独立源管线，最多加载6个前驱体源重量 ：400 + 300 kg
尺寸： (W x H x D) 149 cm x 191 cm x 111 cm
选件 ：PICOFLOW™ 扩散增强，N2发生器，尾气处理器，定制设计，与工厂软件连接服务。
验收标准 ：标准设备验收标准为 Al2O3 工艺
- 产品优势
- PICOSUN 高级原子沉积机 P-300B Advanced ALD，基片尺寸和类型 300mm晶圆10片/批次（标准间距）,200mm晶圆25+2片/批次（标准间距）
