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深圳市蓝星宇电子科技有限公司
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- 品牌:德国Sentech
- 型号:SI 500 PPD
- 产地:欧洲 德国
SI 500 PPD是一种先进的等离子体增强化学气相沉积介质薄膜的工具,硅、碳化硅和其他材料。它是基于平面电容耦合等离子体源,真空加载锁定, 控温基片电极,可选配低频混频,全控无油真空系统采用先...
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SI 500 电感耦合等离子体ICP干法刻蚀系统价格:面议- 品牌:德国Sentech
- 型号:SI 500
- 产地:欧洲 德国
衬底温度的设置和蚀刻过程的稳定性是高质量蚀刻的要求。采用动态温度控制的ICP基片电极,结合He背面冷却和基片背面温度传感,在-150℃到+400℃的大范围温度范围内,提供了优良的工艺条件。
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- 品牌:德国Sentech
- 型号:ICP-RIE SI 500
- 产地:欧洲 德国
衬底温度的设置和蚀刻过程的稳定性是高质量蚀刻的要求。采用动态温度控制的ICP基片电极,结合He背面冷却和基片背面温度传感,在-150℃到+400℃的大范围温度范围内,提供了优良的工艺条件。
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- 品牌:德国Sentech
- 型号:Etchlab200
- 产地:欧洲 德国
Etchlab200 德国Sentech 经济型反应离子刻蚀机(可升级),经济型刻蚀机应用范围:硅、硅化物、III-V族化合物半导体、电介质和金属等材料。直接装片型、可升级、在线监控、大尺寸观察窗、远...
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- 品牌:德国Sentech
- 型号:200 RIE
- 产地:欧洲 德国
德国Sentech 200 RIE 离子刻蚀与沉积系统 ,将平行板等离子体源设计与直接负载相结合。根据其模块化设计,Etchlab 200可以升级为更大的抽油机、真空负载锁和额外的气体管道。
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德国Sentech 等离子体增强原子层沉积机价格:面议- 品牌:德国Sentech
- 型号:德国Sentech 等离子体增强原子层沉积机 PE-ALD
- 产地:欧洲 德国
PE-ALD 德国Sentech 等离子体增强原子层沉积机,是在3D结构上逐层沉积超薄薄膜的工艺方法。薄膜厚度和特性的精确控制通过在工艺循环过程中在真空腔室分步加入前置物实现。等离子增强原子层沉积(P...
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- 品牌:德国Sentech
- 型号:PE-ALD
- 产地:欧洲 德国
德国Sentech PE-ALD 等离子体增强--原子层沉积,SENTECH基于多年研发制造PECVD和ICPECVD的经验,包括专有的PTSA技术,推出**台PEALD设备。新的ALD设备应用SEN...
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