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深圳市蓝星宇电子科技有限公司
主营产品:光刻机/3D打印机,镀膜沉积机,离子刻蚀与沉积系统,半导能检测仪器,UV清洗设备
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Ionfab 300 IBE 牛津离子束刻蚀机
  • 品牌:牛津仪器
  • 型号:Ionfab 300 IBE
  • 产地:欧洲 英国
  • 离子束刻蚀的灵活性、均匀性俱佳且应用范围广。我们的设备具有灵活的硬件选项,包括直开式、单衬底传送模式和盒式对盒式模式。系统配置与实际应用紧密协调,以确保获得速率更快且重复性更好的工艺结果。

PlasmaPro 80 PECVD牛津等离子沉积机
  • 品牌:牛津仪器
  • 型号:PlasmaPro 80 PECVD
  • 产地:欧洲 英国
  • · 小尺寸系统——易于安置 · 优化了的电极冷却——衬底温度控制 · 高导通的径向(轴对称)抽气结构—— 确保提升了工艺均匀性和速率 · 增加了<500毫秒的数据记录功能——可追溯腔室和工...

牛津OpAL 开放式样品载入ALD设备
  • 品牌:牛津仪器
  • 型号:OpAL
  • 产地:欧洲 英国
  • 紧凑型开放式样品载入原子层沉积(ALD)系统 OpAL提供了专业的热ALD设备,可以简单明了的升级使用等离子体,使得在同一紧凑设备中集成了等离子体和热ALD。

PlasmaPro 80 ICP 英国牛津OXFORD 等离子体刻蚀机
  • 品牌:牛津仪器
  • 型号:PlasmaPro 80 ICP
  • 产地:欧洲 英国
  • PlasmaPro 80 ICP是一种结构紧凑、小型且使用方便的直开式系统,可提供多种刻蚀解决方案。 它易于放置,便于使用,且能够确保工艺质量。直开式设计允许快速的进行晶圆装卸,是科学研究、原型设计和...

System 100 等离子刻蚀与沉积设备
  • 品牌:牛津仪器
  • 型号:PlasmalabSystem 100
  • 产地:欧洲 英国
  • 该设备是一个灵活和功能强大的等离子体刻蚀和淀积工艺设备。 采用真空进样室进样可进行快速的晶片更换、采用多种工艺气体并扩大了允许的温度范围。 具有工艺灵活性,适用于化合物半导体,光电子学,光子学...

PlasmaPro 80 RIE 牛津等离子体刻蚀机
  • 品牌:牛津仪器
  • 型号:PlasmaPro 80 RIE
  • 产地:欧洲 英国
  • PlasmaPro 80 RIE是一种结构紧凑、小尺寸且使用方便的直开式系统,可以提供多种刻蚀和沉积的解决方案。 它易于放置,便于使用,且能确保工艺性能。直开式设计可实现快速晶圆装卸,是研究和小批量生...

PlasmaPro 80 ICPCVD 英国Oxford 牛津等离子沉积机
  • 品牌:牛津仪器
  • 型号:PlasmaPro 80 ICPCVD
  • 产地:欧洲 英国
  • PlasmaPro 80 ICPCVD是一种结构紧凑且使用方便的小型直开式系统,可以提供多种刻蚀和沉积的解决方案。 它易于放置,便于使用,且能够确保工艺性能。直开式设计可实现快速晶圆装卸,是科学研究、...

Plasma Stripper (Asher) 等离子去胶机(灰化)
  • 品牌:牛津仪器
  • 型号:Plasma Stripper (Asher)
  • 产地:欧洲 英国
  • 。开放式设计,可快速加载和卸载晶圆。 。基片放置在石英上,以避免溅射/再沉积电极材料 。通过顶部电极上的“莲蓬头”进气口将气体注入工艺室 。电感耦合等离子体(ICP)和电极的独立射频发生器提供对...

TF500/TF600 适合先进研发和试生产的全功能真空镀膜系统
  • 品牌:英国HHV
  • 型号:TF500/TF600
  • 产地:欧洲 英国
  • TF500/TF600 适合先进研发和试生产的全功能真空镀膜系统,具有高级工艺能力。系统配置可选择多种腔室尺寸和工艺附件,以精确的符合用户需求。这两个型号的系统都可以安装多个镀膜源,也都支持离子束处理...

瑞典Mycronic FPS 6100多功能掩膜版光刻机
  • 品牌:瑞典Mycronic
  • 型号: FPS 6100
  • 产地:欧洲 瑞典
  • 瑞典Mycronic FPS 6100多功能掩膜版光刻机,使多功能光掩模制造,具有无与伦比的灵活性。

瑞士Sawatec  3D微观结构的均匀喷涂机 Leaflet_ispay-300_cn
  • 品牌:瑞士Sawatec
  • 型号:Leaflet_ispay-300_cn
  • 产地:欧洲 瑞士
  • 瑞士Sawatec 3D微观结构的均匀喷涂机 Leaflet_ispay-300_cn ,它是一款精密的喷胶机,适用于手动喷涂或喷雾显影工艺,主要被应用于研究与开发实验室,尤其是 MEMS 加工的试...

瑞士Sawatec 显影机Leaflet_SMD-200
  • 品牌:瑞士Sawatec
  • 型号:Leaflet_SMD-200
  • 产地:欧洲 瑞士
  • 瑞士Sawatec 显影机Leaflet_SMD-200,具有良好的工艺性能、低的化学消耗和可靠的重复性,甚至具有较厚的光刻胶层。SMD系列用于清洗和显影8英寸(200mm)以下的晶圆或6英寸(150...

瑞士 sawatec 热版机 HP-150
  • 品牌:瑞士Sawatec
  • 型号: HP-150
  • 产地:欧洲 瑞士
  • 瑞士 sawatec HP-150 热版机,电炉 HP-150是为典型的软烘焙和硬烘焙工艺的岩性,在MEMS和类似的应用。默认情况下,温度范围设计为250℃以下。设定的温度和温度分布具有较窄的边界,这...

瑞士Sawatec 匀胶机SM-150
  • 品牌:瑞士Sawatec
  • 型号:SM-150
  • 产地:欧洲 瑞士
  • 瑞士Sawatec 匀胶机SM-150 是手动或半自动薄膜涂覆的**选择,适用于表面没有或有非常矮形貌的基板涂胶作业。所有市面上的光刻胶与涂层材料都可被均匀涂覆到尺寸zuida为 150mm (6”)...

ZEISS聚焦离子束扫描电镜Crossbeam 350
  • 品牌:德国蔡司
  • 型号:Crossbeam 350,Crossbeam 550
  • 产地:欧洲 德国
  • 德国ZEISS蔡司聚焦离子束扫描电镜FIB/SEM,Crossbeam 350,Crossbeam 550,标准样品仓有18个扩展接口,加大样品仓有22个扩展接口。

少子寿命测试仪MDPspot
  • 品牌:德国Sentech
  • 型号:MDPspot
  • 产地:欧洲 德国
  • MDPspot灵活的自动扫描系统 具有成本效益的台式少子寿命测试仪MDPspot可用于表征晶片或面。它为少子寿命测量提供了一个测量点。