仪器网首页 欢迎您: 请登录 免费注册 仪器双拼网址:www.yiqi.com
发求购 学知识 提问题 查标准 找商机 手机版
官方微信
深圳市蓝星宇电子科技有限公司
主营产品:光刻机/3D打印机,镀膜沉积机,离子刻蚀与沉积系统,半导能检测仪器,UV清洗设备
0755-81776600
仪器网仪网通会员,请放心拨打!
产品中心
 
当前位置:首页>产品中心>URE-2000S/35L(A)型紫外双面光刻机
URE-2000S/35L(A)型紫外双面光刻机
  • 品牌:中科院
  • 型号: URE-2000S/35L(A)
  • 产地:成都
  • 样册:暂无
  • 供应商报价: 面议
点击这里给我发消息在线留言
收藏  关注度: 428
详细介绍

URE-2000S/35L(A)型紫外双面光刻机

 

技术参数

。曝光面积:6 英寸

。光 源:紫外 LED

。曝光波长:365nm: 10-25mW/cm

。分辨力:1μm

。正面对准采用双目双视场对准显微镜:既可通过目镜目视对准,也可通过 CCD+显示器对准,光学合像,光学最 大倍数 400 倍,光学+电子放大 800 倍

                 物镜三对:4 倍、10 倍、20 倍

                 目镜三对:4 倍、10 倍、20 倍

。底面面对准:采用双显微物镜+CCD+采集卡+计算机合像,物镜轴距范围 10mm-148mm

。对准精度:±2μm(双面,片厚 0.8mm),±0.6μm(单面)

。掩模尺寸:3 英寸、4 英寸、5 英寸、7 英寸

。样片尺寸:2 英寸、3 英寸、4 英寸、6 英寸,厚度 0.1mm--2mm ,

。曝光方式:定时(倒 计时方式)和定剂量

。照明不均匀性:2.5%( Ф 100mm 范围)19,3%( Ф 150 mm 范围)

。掩模相对于样片运动行程:

          X: ±5mm; Y: ±5mm; Thelta:±6 度

。调平接触压力通过传感器保证重复

。数字设定对准间隙和曝光间隙

。具备压印模块接口,也具备接近模块接口

。最 大胶厚:400 μm(SU8 胶,用户提供检测条件)

。光源平行性:2°

 

外形尺寸:1300mm(长)x900mm(宽) x1800mm(高)

 

配置

(1)曝光头

。冷光椭球镜

。LED 进口光源

。冷却模块

。光学系统:固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜 1、准直镜镜 2、蝇眼透镜组(79 个透镜)、i 线滤光片、场镜1、冷光反射镜 1、反射镜 2、能力调节器、微光学整形元件

 

(2)对准工件台

。掩模样片相对运动台

。转动台

。样片调平机构,自动完成

。样片调焦机构,气缸自动调

。承片台 4 个(2 英寸、3 英寸、4 英寸、6 英寸)

。掩模夹 4 个(3 英寸、4 英寸、5 英寸、7 英寸)

。掩模抽拉式上下机构

 

(3)双目双视场对准显微镜(可以选择带 CCD 型,目镜和监视器可同时观测)

。光源、电源

。双目双视场对准显微镜主体

。目镜 3 对(10 倍、16 倍、20 倍,共 6 个)

。物镜 3 对(4 倍、10 倍、20 倍,共 6 个)

。CCD 光学系统(选配件)20

。XYZ 底面对准工件台

 

(4)底面 CCD 对准系统

。光源、电源

。成像光学系统

。数据采集卡

。CCD

 

(5)电控系统

。单片机控制系统

。控制柜桌

。计算机系统(21 英寸宽屏液晶显示器)

 

(6)气动系统

。气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等

。电磁阀驱动

。气动仪表

 

(7)其他附件

。真空泵一台(无油泵)

。空压机一台 (音静泵)

。管道


产品优势
URE-2000S/35L(A)型紫外双面光刻机,曝光面积:6 英寸,正面对准采用双目双视场对准显微镜:既可通过目镜目视对准,也可通过 CCD+显示器对准,光学合像,光学ZD倍数 400 倍,光学+电子放大 800 倍
仪企号 
深圳市蓝星宇电子科技有限公司
友情链接 

X您尚未登录

会员登录

没有账号?免费注册
 下次自动登录忘记密码?
在线留言
官方微信

仪器网微信公众号

扫码获取最新信息

在线客服

咨询客服

在线客服
工作日:  9:00-18:00
联系客服 企业专属客服
电话客服:  400-822-6768
工作日:  9:00-18:00
订阅商机

仪采招微信公众号

采购信息一键获取海量商机轻松掌控