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深圳市蓝星宇电子科技有限公司
主营产品:光刻机/3D打印机,镀膜沉积机,离子刻蚀与沉积系统,半导能检测仪器,UV清洗设备
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SU-8 2000 永 久性环氧负性光刻胶
  • 品牌:美国MicroChem
  • 型号:SU-8
  • 产地:美洲 美国
  • SU-8 2000是一种高对比度的环氧树脂基光刻胶,适用于微加工和其他微电子应用领域,需要厚、化学和热稳定的图像。SU-8 2000是SU-8的改进配方,多年来被MEMS生产厂家广泛使用。采用更快的干...

美国 Laurel 匀胶旋涂仪 WS-650系列,H6系列
  • 品牌:美国劳瑞尔
  • 型号:WS-650系列,H6系列
  • 产地:美洲 美国
瑞士Sawatec匀胶机/热版机/显影机/喷胶机
  • 品牌:瑞士Sawatec
  • 型号:SM-150
  • 产地:欧洲 瑞士
  • 可编程,zui多 50 个程序(各包含 24 个程序段); 适用于重复工艺的快速启动功能; 触摸屏面板控制,方便用户程序配置工艺参数:转速、加速度、工艺时间旋转方向可选 (顺时针、逆时针)...

美国Trion Technology反应式离子刻蚀(RIE/ICP)系统及沉积(PECVD)系统
  • 品牌:美国Trion
  • 型号:RIE/ICP
  • 产地:美洲 美国
牛津深硅刻蚀系统 PlasmaPro 100 Estrelas
  • 品牌:牛津仪器
  • 型号:PlasmaPro 100 Estrelas
  • 产地:欧洲 英国
  • 硬件设计使同一腔室中可进行Bosch™和超低温刻蚀工艺,使得纳米和微米结构刻蚀均可实现; 兼容50mm至200mm的衬底 - 确保您只需一台系统,便具备从研发器件到量产的能力; 自动匹配-拥有工艺...

英国牛津OXFORD 等离子体刻蚀机 PlasmaPro 80 ICP
  • 品牌:牛津仪器
  • 型号:PlasmaPro 80 ICP
  • 产地:欧洲 英国
  • PlasmaPro 80 ICP 英国牛津OXFORD 等离子体刻蚀机,是一种结构紧凑、小型且使用方便的直开式系统,可提供多种刻蚀解决方案。 它易于放置,便于使用,且能够确保工艺质量。直开式设计允许快...

System 100 等离子刻蚀与沉积设备
  • 品牌:牛津仪器
  • 型号:System 100
  • 产地:欧洲 英国
  • 牛津OXFORD System 100 等离子刻蚀与沉积设备,具有工艺灵活性,适用于化合物半导体,光电子学,光子学,微机电系统和微流体技术。

牛津等离子体刻蚀机 PlasmaPro 80 RIE
  • 品牌:牛津仪器
  • 型号:PlasmaPro 80 RIE
  • 产地:欧洲 英国
  • PlasmaPro 80 RIE 牛津等离子体刻蚀机,是一种结构紧凑、小尺寸且使用方便的直开式系统,可以提供多种刻蚀和沉积的解决方案。 它易于放置,便于使用,且能确保工艺性能。直开式设计可实现快速晶圆...

英国Oxford 牛津等离子沉积机
  • 品牌:牛津仪器
  • 型号:PlasmaPro 80 ICPCVD
  • 产地:欧洲 英国
  • PlasmaPro 80 ICPCVD 英国Oxford 牛津等离子沉积机,是一种结构紧凑且使用方便的小型直开式系统,可以提供多种刻蚀和沉积的解决方案。 它易于放置,便于使用,且能够确保工艺性能。直开...

Plasma Stripper (Asher) 等离子去胶机
  • 品牌:牛津仪器
  • 型号:Plasma Stripper
  • 产地:欧洲 英国
  • 开放式设计,可快速加载和卸载晶圆; 基片放置在石英上,以避免溅射/再沉积电极材料; 通过顶部电极上的“莲蓬头”进气口将气体注入工艺室。

ENTECH平板电容式反应离子刻蚀机RIE SI591
  • 品牌:德国Sentech
  • 型号:RIE SI591
  • 产地:欧洲 德国
  • ENTECH RIE SI591 平板电容式反应离子刻蚀机,兼容多种氯基或氟基刻蚀工艺;小型化和高度模块化;SENTECH控制软件;Process flexibility工艺灵活性,反应离子刻蚀机 S...

Depolab 200 等离子体沉积机
  • 品牌:德国Sentech
  • 型号: Depolab 200
  • 产地:欧洲 德国
  • PECVD等离子体沉积工具Depolab 200将平行板等离子体源设计与直接负载相结合。

德国 Sentech SI 500 D 等离子沉积机
  • 品牌:德国Sentech
  • 型号:SI 500 D
  • 产地:欧洲 德国
  • SI 500D 代表了等离子体增强化学气相沉积介电薄膜、a-Si、SiC和其他材料的前沿。它基于PTSA等离子体源,反应气体分离气体入口,动态控温基片电极,全控真空系统,采用远程现场总线技术的先进森泰...

德国 Sentech SI 500 PPD等离子沉积机
  • 品牌:德国Sentech
  • 型号:SI 500 PPD
  • 产地:欧洲 德国
  • SI 500 PPD是一种先进的等离子体增强化学气相沉积介质薄膜的工具,硅、碳化硅和其他材料。它是基于平面电容耦合等离子体源,真空加载锁定, 控温基片电极,可选配低频混频,全控无油真空系统采用先...

SI 500 电感耦合等离子体ICP干法刻蚀系统
  • 品牌:德国Sentech
  • 型号:SI 500
  • 产地:欧洲 德国
  • 衬底温度的设置和蚀刻过程的稳定性是高质量蚀刻的要求。采用动态温度控制的ICP基片电极,结合He背面冷却和基片背面温度传感,在-150℃到+400℃的大范围温度范围内,提供了优良的工艺条件。

德国Sentech等离子刻蚀机 ICP-RIE SI 500
  • 品牌:德国Sentech
  • 型号:ICP-RIE SI 500
  • 产地:欧洲 德国
  • 衬底温度的设置和蚀刻过程的稳定性是高质量蚀刻的要求。采用动态温度控制的ICP基片电极,结合He背面冷却和基片背面温度传感,在-150℃到+400℃的大范围温度范围内,提供了优良的工艺条件。