离子溅射仪的工作原理、组成和步骤

离子溅射仪为一种有着紧凑结构的桌上型镀膜系统，对于扫描电镜成像中非导电样品高质量镀膜尤为适用。试样干燥清洁为离子溅射镀膜的基本要求。在必要时，交换试样与阴极的位置利用火花放电从而对试样表面进行清洁，之后试样复原，再进行溅射镀膜。铁、镍、铜铅等为离子溅射仪常用的阴极材料，有时电刚金、铂、钯、铟和其他金属也能够作为阴极材料，氧气为离子溅射仪常用的反应气体。

离子溅射仪的工作原理和组成：

离子溅射仪的工作原理是在一个较低真空的腔体内，将超过几百伏特的电压加载在负电极和正电极之间，使得辉光放电产生，使得正离子在电场的作用下对靶电极(负极)的轰击加速，造成靶中原子溅射，使得一层簿膜在样品上形成。10电子伏特为溅射原子的平均能量，因此会有非常大的热量产生，为了使样品不被灼伤，需要对被镀材料特性以及是否需要采取特殊的防护方法格外注意。

离子溅射仪的一般操作步骤：

1、对样品进行放置，将上盖合上。

2、对溅射时间进行选择。

3、将电源开关打开，对真空指示表进行观察，当真空度达到4×-100托时，能够对微调进气阀进行调整使得真空度降低到适合的值。

4、对启动开关进行触按，定时器发出的计时音能够听到，观察到有辉光从样品室中发出。

5、对电流表指示进行观察。按照需要对微调进气阀门进行调整，对电离电流进行提高或降低。

6、计时归零，结束提示发出。