离子溅射仪镀膜步骤

离子溅射仪为一种有着紧凑结构的桌上型镀膜系统，对于扫描电镜成像中非导电样品高质量镀膜尤为适用。试样干燥清洁为离子溅射镀膜的基本要求。在必要时，交换试样与阴极的位置利用火花放电从而对试样表面进行清洁，之后试样复原，再进行溅射镀膜。铁、镍、铜铅等为离子溅射仪常用的阴极材料，有时电刚金、铂、钯、铟和其他金属也能够作为阴极材料，氧气为离子溅射仪常用的反应气体。

离子溅射仪镀膜步骤

1、对Ar阀是否处于开启状态进行检查，将阀压力调节到0.3bar（若接空气那么就没有必要）。

（1）对time value等于30秒进行检查，若有必要，则重新进行设定。

（2）等到压力稳定以后，对压力是否为0.08mb进行检查，若不是，则重新进行设定。

2、将TEST键按下，将后面的溅射电流控制旋钮调节到20毫安，再将TEST键释放。

3、将start键按下，镀膜开始。

4、结束镀膜以后，将溅射头上盖的放气阀拔出放气。

5、在完全放气以后，能够对溅射时间进行更改，shou先不要对电流或者气体压力进行更改。

离子溅射仪保养

1、离子溅射仪需要保持干燥、干净的工作环境，离子溅射仪需要远离热源。

2、用沾有少量丙酮的抹布对真空室进行定期用擦拭，值得注意的是不要将玻璃真空圈打破。

3、需要在专业的指导下对靶材进行更换。

4、真空泵油更换周期为：12个月。

5、油雾过滤器更换周期为：24个月。