- 为您推荐:
离子溅射仪为一种有着紧凑结构的桌上型镀膜系统,对于扫描电镜成像中非导电样品高质量镀膜尤为适用。试样干燥清洁为离子溅射镀膜的基本要求。在必要时,交换试样与阴极的位置利用火花放电从而对试样表面进行清洁,之后试样复原,再进行溅射镀膜。铁、镍、铜铅等为离子溅射仪常用的阴极材料,有时电刚金、铂、钯、铟和其他金属也能够作为阴极材料,氧气为离子溅射仪常用的反应气体。
离子溅射仪基本组成和作用:
1、手动开关:将该开关按下,对溅射电流强弱进行测试,在定时器工作期间起不到作用。
2、启动开关:对该开关进行按触,对定时器及加载溅射电压进行启动。若在溅射期间,发生过流保护,在溅射电压再次加载时,需要对该开关再次按触。
3、微调进气阀门:对按钮进行旋转,对样品真空室中的真空度进行控制,对溅射电流进行调整,能够将多种气体通入。
4、限流指示灯:该灯亮起,提示当前如果加载溅射电压则过载。
5、电流指示表:对当前电离电流值进行显示。
6、对当前设备的真空度进行显示。
7、上盖:密闭样品真空室
8、上部电极:安装镀膜材料的装置(负极)
9、样品台:固定被镀样品的装置(阳极)
10、定时选择开关:对该开关进行旋转,对镀膜时间进行设置。值得注意的是定时器分别有停止、暂停和运行三种状态。
11、电源开关:对该开关进行搬动,对设备工作状态进行确定。
①本文由仪器网入驻的作者或注册的会员撰写并发布,观点仅代表作者本人,不代表仪器网立场。若内容侵犯到您的合法权益,请及时告诉,我们立即通知作者,并马上删除。
②凡本网注明"来源:仪器网"的所有作品,版权均属于仪器网,转载时须经本网同意,并请注明仪器网(www.yiqi.com)。
③本网转载并注明来源的作品,目的在于传递更多信息,并不代表本网赞同其观点或证实其内容的真实性,不承担此类作品侵权行为的直接责任及连带责任。其他媒体、网站或个人从本网转载时,必须保留本网注明的作品来源,并自负版权等法律责任。
④若本站内容侵犯到您的合法权益,请及时告诉,我们马上修改或删除。邮箱:hezou_yiqi
离子溅射仪产品导购
离子溅射仪产品资料
离子溅射仪产品问答
离子溅射仪产品厂家
最新资讯