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深圳市蓝星宇电子科技有限公司
主营产品:光刻机/3D打印机,镀膜沉积机,离子刻蚀与沉积系统,半导能检测仪器,UV清洗设备
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深圳市蓝星宇电子科技有限公司

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光刻机/3D打印机/电子束直写仪

 
当前位置: 首页 > 产品中心 > 光刻机/3D打印机/电子束直写仪
URE-2000/17 型紫外单面光刻机(台式)
  • 品牌:中科院
  • 型号:URE-2000/17
  • 产地:四川 成都
  • URE-2000/17 型紫外单面光刻机(台式),曝光面积:4 英寸,分辨力:1.5μm(胶厚 2 m 的正胶),对准精度:±1μm

URE-2000/35L 型紫外单面光刻机
  • 品牌:中科院
  • 型号:URE-2000/35L
  • 产地:四川 成都
  • URE-2000/35L 型紫外单面光刻机,曝光面积:100mm×100mm;分辨力:1.0 μm(胶厚 2.0 μm 的正胶,365nm 波长)

URE-2000/35 型紫外单面光刻机
  • 品牌:中科院
  • 型号:URE-2000/35
  • 产地:四川 成都
  • URE-2000/35 型紫外单面光刻机,非常适合工厂(效率高,操作傻瓜型,自动化程度高)和高校教学科研(可靠性好,演示方便)采用自动找平,具备真空接触曝光、硬接触曝、压力接触曝以及接近式曝光四种功能...

URE-2000/35L 型紫外单面光刻机
  • 品牌:中科院
  • 型号:URE-2000/35L
  • 产地:四川 成都
  • URE-2000/35L 型紫外单面光刻机,曝光面积:100mm×100mm;分辨力:1.0 μm(胶厚 2.0 μm 的正胶,365nm 波长)

中科院DS-2000/14G 型无掩模单面光刻机
  • 品牌:中科院
  • 型号:DS-2000/14G
  • 产地:四川 成都
  • DS-2000/14G 型无掩模单面光刻机,采用 DMD 作为数字掩模,像素数 1024×768 或 1920×1080 或 25601600 三种选配,采用缩小投影光刻物镜成像,分辨力 1um。

中科院DS-2000/14K 无掩膜单面光刻机
  • 品牌:中科院
  • 型号:DS-2000/14K
  • 产地:四川 成都
  • DS-2000/14K 无掩膜单面光刻机,采用 DMD 作为数字掩模,像素数 1024×768,采用 14 倍缩小投影光刻物镜成像。

URE-2000/600 紫外单面光刻机
  • 品牌:中科院
  • 型号:URE-2000/600
  • 产地:四川 成都
  • URE-2000/600 紫外单面光刻机,光束口径: 650mm×650mm,对准精度: ±1.5μm

URE-2000/A12 紫外单面光刻机
  • 品牌:中科院
  • 型号:URE-2000/A12
  • 产地:四川 成都
  • URE-2000/A12 紫外单面光刻机,曝光面积: 300mm×300mm;掩模尺寸: 7 英寸、9 英寸、13 英寸;

URE-2000/A8 紫外单面光刻机
  • 品牌:中科院
  • 型号:URE-2000/A8
  • 产地:四川 成都
  • URE-2000/A8 紫外单面光刻机,曝光面积: 200mm×200mm;分辨力:≤ 2μm

URE-2000A 型紫外单面光刻机
  • 品牌:中科院
  • 型号:URE-2000A
  • 产地:四川 成都
  • URE-2000A 型紫外单面光刻机,曝光面积:150mmX150mm,分辨力:0.8-1μm(胶厚 2 μm 的正胶),对准精度:±0. 6μm

URE-2000S 系列双面光刻机
  • 品牌:中科院
  • 型号:URE-2000S 系列
  • 产地:四川 成都
  • URE-2000S 系列双面光刻机,对准精度:±2 mm(双面,片厚 0.8mm),±0.8mm(单面)

URE-2000 系列紫外单面光刻机
  • 品牌:中科院
  • 型号:URE-2000 系列
  • 产地:四川 成都
  • URE-2000 系列紫外单面光刻机,此系列包含六种型号:URE-2000A,URE-2000B,URE-2000/35,URE-2000/3,URE-2000/25,URE-2000/17

海德堡Heidelberg 掩膜版光刻机VPG+ 200,VPG+400
  • 品牌:德国海德堡
  • 型号:VPG+ 200,VPG+400
  • 产地:欧洲 德国
  • 海德堡Heidelberg 掩膜版光刻机VPG+ 200,VPG+400 大尺寸掩膜版生产工具 平行化曝光制程技术 大型光学系统上的创新与突破

瑞典Mycronic FPS 6100多功能掩膜版光刻机
  • 品牌:瑞典Mycronic
  • 型号: FPS 6100
  • 产地:欧洲 瑞典
  • 瑞典Mycronic FPS 6100多功能掩膜版光刻机,使多功能光掩模制造,具有无与伦比的灵活性。

百及纳米ParcanNano单离子注入系统SII
  • 品牌:德国ParcanNano
  • 型号:SII
  • 产地:欧洲 德国
  • 单离子注入系统(纳米级定位单离子注入系统SII):精准确定位定量离子注入 • 针尖悬臂上的小孔小于50nm • 锥形电场稀释和准直离子束 • 横向电场形成离子闸门

百及纳米ParcanNano探针电子束光刻机P-SPL21
  • 品牌:德国ParcanNano
  • 型号:P-SPL21
  • 产地:欧洲 德国
  • 百及纳米ParcanNano单针尖电子束扫描系统P-SPL21,采用压阻式微纳米针尖和多维纳米定位与测量技术、在半导体器件材料表面制造尺寸小于5纳米线宽结构的高性能微纳加工系统。可在大气环境下,高经济...