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磁控溅射NSC-3500系统(中科绿谷)

发布:那诺—马斯特中国有限公司
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【导读】中科绿谷(深圳)医疗有限公司购买的磁控溅射NSC-3500系统安装验收!


磁控溅射NSC-3500系统:为紧凑型独立式PC计算机控制的向下溅射系统,具有DC直流溅射能力。用于Au及Cr金属以及强磁性材料的溅射镀膜。

系统通过Lab View软件和触摸屏进行操作、观察和控制。设备提供完整的安全联锁功能,菜单驱动,可以保存无*的程序,每个程序可根据客户需要设定多步骤。

系统包含状态指示、图形和文字方式的实时显示。4级密码授权访问控制,全自动工艺控制,具有高度的可重复性和优异的控制能力。


Nano-Master磁控溅射的优势

优异的均匀性数据(6”晶圆片上镀金属薄膜)

均匀度测试结果:规格+/-5%,测量6”经验片上的膜厚,镀Ti,Pt和Au,总膜厚2800埃。实际测量结果 <1%。详细数据如下图。

 

 


2022-08-16
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